Jeol

없음

- 전고체전지용 샘플 준비에 활용하는 장비임.

- 이온밀링을 통해 전고체전지용 샘플의 대면적 표면을 균일하게 제작할 수 있음.

- 극저온 이온 밀링이 가능하여 샘플의 데미지를 최소화 할 수 있음.

- IGST workflow(Air isolation system)를 활용하여 공기 중에서 샘플 접촉이 없도록 설계 가능함.

- ±180°까지 tilting이 가능하여 다양한 각도에서 샘플 제작이 가능함.

1) Ion milling unit
(1) Accelerating voltage : Min. 0.1 kV to Max. 8 kV or wider
(2) Ion beam current : 10 to 500 um or wider
(3) Milling rate
- Cross-section milling : over than 500 um/hr on Si or higher

2) Cross-section milling holder unit
1) Swing angle : ±360° or ±40°
2) Maximum sample size : 10 mm(W) x 10 mm(D) x 3 mm(H) or more
3) Milling area with wide milling holder unit : 3 mm width or more

[부 장비]
1) Stage for flat milling holder unit
1) Maximum sample size : 30 mm diameter x 15 mm(H) or more
2) Milling area : Fully 20 mm diameter or more

2) Cooling temperature control unit
1) Cooling method : LN2
2) Temperature setting range : 0 to –150 ℃ or more
3) Minimum setting temperature : 1 ℃ or less

3) Glove box for inert gas transfer system
1) Compatible with Vacuum transfer system

4) Air isolation system
1) Inert Gas Transfer system : Compatible with Glove Box, Scanning Electron Microscope system