이노션테크
HPCS-SIT
10년
옵션/액세서리(보조장치) (주장비:DLC 코팅시스템)
생산
기계가공·시험장비 > 성형/가공장비 > 코팅기
2023-12-22
256,007,510원
없음
고출력-고냉각 2슬릿 플라즈마 선형 이온 전처리 소스
사이즈 : 1050 x 100 x 80 (mm)
유효 Beam Size : 850 mm
내전압 : 1500 V 이상
냉각 방식 : 수냉식 (유로확장)
Ar 이온에칭 및 이온 증착용
고출력-고냉각 인다이렉트 UBM 스퍼터 소스
사이즈 : 1050 x 168 x 80 (mm)
유효 코팅 : 850 mm
Target Size : 1050 x 120 x 8 t (mm)
내전압 : 380 V 이상
냉각 방식 : 수냉식 (유로확장)
자석 : Nd 자석
사용 전력 : Max. 10W/cm2
권장 사용 전력 : 8W/cm2미만
PVD용 코팅 턴테이블 회전 시스템
사이즈 : Dia. 850D x 1000H (mm)
Bias 인가 방식
8축 2폴더 회전 방식
원하는 지점에서 고정하여 자전 회전 가능
1. 본 장비는 내마모, 저마찰, 내구성특성을 필요로 하는 고기능성 DLC (Diamond-Like Carbon) 코팅을 안정적으로 적용가능한 DLC코팅시스템의 부가장치로 이온건, 스퍼터, 턴테이블로 구성
2. 고출력 코팅시 발생하는 발열을 수냉식으로 제어하여 발열에 대한 냉각 제어 가능하며, 기존 대비 3배 이상 고밀도 코팅이 가능하여, 고품질의 코팅막을 적용할 수 있음
기관의뢰
고정형
기타
800,000원
1. 본 장비는 내마모, 저마찰, 내구성특성을 필요로 하는 고기능성 DLC (Diamond-Like Carbon) 코팅을 안정적으로 적용가능한 DLC코팅시스템의 부가장치로 이온건, 스퍼터, 턴테이블로 구성
2. 고출력 코팅시 발생하는 발열을 수냉식으로 제어하여 발열에 대한 냉각 제어 가능하며, 기존 대비 3배 이상 고밀도 코팅이 가능하여, 고품질의 코팅막을 적용할 수 있음
고출력 코팅시 발생하는 발열을 유로확장된 수냉식으로 제어하여 종래 아크방식의 최고발열온도 500℃에 비해 ~ 70℃ 정도로 제어 가능하며, 기존 대비 3배 이상 고밀도 코팅이 가능하여, 고품질의 코팅막을 적용할 수 있어야 함
- 구성:
1. 고출력-고냉각 2슬릿 플라즈마 선형 이온 전처리 소스
- 사이즈 : 1050 x 100 x 80 mm
- 유효빔 사이즈: 850 mm
- 내전압 : 1500 V 이상
- 냉각방식 : 수냉식 (유로확장)
- Ar 이온에칭 및 이온 증착용
2. 고출력-고냉각 인다이렉트 UBM 스퍼터 소스
- 사이즈 : 1050 x 168 x 80 mm
- 유효코팅 : 850 mm
- 타겟사이즈 : 1050 x 120 x 8t (mm)
- 내전압 : 380 V 이상
- 냉각 방식 : 수냉식 (유로확장)
- 자석 : Nd 자석
- 사용 전력 : Max. 10W/cm2
- 권장 사용 전력 : 8W/cm2 미만
3. PVD용 코팅 턴테이블 회전 시스템
- 사이즈 : Dia. 850 D x 1000 H mm
- Bias 인가 방식
- 8축 2폴더 회전 방식
- 원하는 지점에서 고정하여 자전 회전 가능