1. 엑스선 발생기
1) 9kW(회전 양극)
2) X선 타겟 : Cu (다른 타겟도 가능)
3) 고출력 X-선 발생장치
2. 각도계
1) 스캐닝 모드 : 세타-세타 수직형
2) 고니오미터 반경 : 300mm
3) 최소 단계 : 0.0001 °
4) 시료 수평형 대반경 고니오미터
5) 별도의 In-Plane 스캔 축을 지원하여, 시료를 수직으로 세워 측정하는 유사 측정이 아닌 실제 In-Plane 결정면 측정
3. 광학 시스템
1) 자동 가변 슬릿
2) 자동 정렬
4. 탐지기
1) D/teX Ultra 250(1D 및 0D)
2) HyPix-3000(2D 및 1D, 0D)
5. CBO (Cross Beam Optics) 기술
1) Rigaku 특허 기술인 CBO 광학계를 통해 분석 목적에 따라 입사 X-선빔을 간단히 선택
2) 광학계 탈부착 및 이동 없이 다양한 입사빔을 사용자가 선택하여 다종의 분석을 신속히 대응
3) Bragg-Brentano 발산빔, 평행빔, SAXS빔, K-alpha 발산빔, 집중빔, Micro빔 등 다양한 어플리케이션에 최적빔 제공