TESCAN, sro
Vega GMS
11년
주장비
시험
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2023-07-28
281,097,360원
없음
○ 전자총: Tungsten heated cathode
○ 전자현미경 분해능: 3.0 nm(@ 30kV) 이상
○ 전자현미경 배율: 2x ~ 1,000,000x 이상
○ 가속전압: 200 eV ~ 30 keV
○ 프로브커런트: ≥1 ㎀ ~ ≤2 ㎂
○ 진공시스템(전자총 컬럼 진공: < 9 × 10-3 Pa)
○ 챔버 내부 사이즈: 340(w)x300(d)㎜ 이상
○ 스테이지 정확도: 500㎚ 이하
ㅇ 고출력 현미경을 이용하여 스마트 센싱 유닛 시제품 외관의 미세변화(도체 패턴 단락, 스크래치 등)로 인한 동작불량 검사
ㅇ 센서 칩 등 부품의 구성요소 검사, 오염분석(부산물, 분진 등) 및 잠재적 결함을 비파괴적인 방식(EDS)으로 내부결함을 감지
ㅇ 「스마트 센싱 유닛 실증센터」에 구축 예정인 내환경성, 기구적 특성, 특수환경 시험장비를 통한 실증평가 완료 후, ‘스마트 센서 검사용 전자현미경’을 활용하여 외관검사 및 성분분석 등 One-stop 서비스를 지원
기관의뢰
고정형
시간별
[Hr] 1원
ㅇ 「스마트 센싱 유닛 실증센터」에 구축 예정인 내환경성, 기구적 특성, 특수환경 시험장비를 통한 실증평가 완료 후, ‘스마트 센서 검사용 전자현미경’을 활용하여 외관검사 및 성분분석 등 One-stop 서비스를 지원
○ 전자총: Tungsten heated cathode
○ 전자현미경 분해능: 3.0 nm(@ 30kV) 이상
○ 전자현미경 배율: 2x ~ 1,000,000x 이상
○ 가속전압: 200 eV ~ 30 keV
○ 프로브커런트: ≥1 ㎀ ~ ≤2 ㎂
○ 진공시스템(전자총 컬럼 진공: < 9 × 10-3 Pa)
○ 챔버 내부 사이즈: 340(w)x300(d)㎜ 이상
○ 스테이지 정확도: 500㎚ 이하