TESCAN
CLARA GMH
4년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2022-12-28
601,200,000원
기관의뢰
고정형
시간별
[Hr] 60,000원
1. 일반 광학현미경으로 관측이 어려운 시료의 미세영역을 고배율(50 만배 이상)으로 확대하여 표면구조 및 형태를 확인.
2. 전계방사형 주사전자현미경(FE-SEM)은 전자총에서 방출된 전자빔을 집속시켜 시료표면의 관찰영역에 조사할 때 발생되는 각종 정보들을 검출기를 이용하여 영상으로 표시하는 기능이 있음
3. 특히, 이 장치의 경우 정전기 대물렌즈와 업그레이드 된 검출 시스템을 기반으로 Field-free 초고 해상도 영상을 산출하며, 자기장이 샘플에 영향을 주지 않아 자성 및 비자성 샘플 모두 고해상도 결과를 검출할 수 있음
4. 초고분해능 FE-SEM은 절연물질을 코팅 없이 관찰이 가능하며 초저가속전압에서 세라믹섬유 극표면 분석을 높은 정확도로 분석이 가능함.
1. FE-SEM
- 배율 : Max. 2,000,000
- 분해능 : ≤0.5 nm (at 15 kV), ≤0.9 nm (at 500V)
- 이미지 모드 : SE, BSE (Comp, Topo, and Shadow)
2. Physical In-situ test accessories
- Load range : 10 μN ~ 5 kN (Tensile strength)
- Measurement speed : 0.3 ~ 50 μm/sec
3. EDS
- 이미지 : >8,000 pixels wide
- 에너지분해능 : ≤130 eV at 20,000 cps
- Navigator : Optimized, Analyzer, Point&ID, Mapping,
LineScan