대한초음파엔지니어링
DHMC-5BATH
8년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2023-11-06
81,950,000원
없음
1. 초음파 세정
- 초음파 주파수 설정 : 4개
- 초음파 발생기 파워 : ~ 900W
- DI water 수조 : 2개
- IPA 수조 : 2개
- 건조 수조 : 1개
2. 초순수 생산
- 초순수 비저항 : 18MOhm cm
- 초순수 생산량 : 300L/hr
1. 용도 : 광학 소재를 이용한 윈도우 및 렌즈의 가공 및 연마 후 초음파를 이용한 습식 세정
2. 구성
- 초음파 세정부 : 4개 주파수 사용으로 다양한 물성을 가진 소재의 세정이 가능함
- 초순수 생산부 : 비저항 18MOhm cm 이상의 초순수를 300L/hr 생산하여 초음파 세정부에 공급
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
[Hr] 37,600원
○ 본 장비는 초음파 세정부와 초순수 생산부로 구성됨
○ 초음파 세정부는 5개 이상의 수조와 4개의 4 주파수 선택 초음파 발생기, 4개의 히터, 3개의 순환펌프로 구성됨
○ 초순수 생산부는 세정에 사용하는 초순수를 생산하여 공급하는 보조장비로 비저항 18MΩ·cm이상의 초순수를 공급
○ 초음파 세정부
- 초음파 발생기
(1) 초음파 주파수 : 30kHz ~ 170kHz 범위에서 4 주파수 선택 가능
(2) 초음파 발생기 파워 : 900W
(3) 수량 : 4ea
- 히터를 이용한 수조 온도 조절 가능
- 수조
(1) DI water 세척 수조 : 초음파 세정, 히터, 2ea
(2) IPA 린스 수조 : 초음파 세정, 2ea
(3) IPA 건조 수조 : 히터, 1ea
- 순환펌프 : 필터 10μm 사용
○ 초순수 생산부
- 초순수 비저항 : 18MΩ·cm 이상
- 초순수 생산량 : 300L/hr 이상
- 초순수 저장탱크 : 400L 이상