J.a.woollam
M-2000X
10년
주장비
분석
광학/전자영상장비 > 광파발생/측정장비 > 굴절계
공동활용허용
2022-12-22
231,878,096원
고정형
건별
[EA] 1원
Mono-crystalline solar cell wafer의 표면은 피라미드 형태로, 낮은 반사율을 유도하는 구조임. 따라서 Mono-crystalline solar cell wafer 표면에 코팅된 박막의 두께나 광학상수를 광학적으로 분석하기가 어렵지만, 본 설비는 Sample을 대략 56도 가량 기울여 피라미드의 옆면을 측정 할 수 있도록 설계하여 박막의 측정이 가능함. 일반 반도체 웨이퍼나 투명 기판, 혹은 multi-crystalline solar cell wafer의 두께 및 광학상수를 측정하며, 최대 300 mm by 300 mm 면적의 uniformity 측정. 대량의 샘플을 측정할 수 있도록 빠른 측정속도가 요구되며, 1 point 측정에 5초 이하로 측정할 수 있어야 함.
Spectroscopic Ellipsometer is most commonly used to measure thin film thickness and optical constants. It is sensitive to less than a monolayer of material (sub-nm) on a surface and yet can determine thickness for transparent films up to tens of microns. The spectroscopic Ellipsometer can also measure the optical constants (both n and k) from any type of material, whether dielectric, organic, semiconductor, or metal. In addition to optical constants, there are additional material properties that can be indirectly determined based on how they affect changes to a material’s optical response.