Panalytical
Empyrean
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 전자빔증착기
2023-07-13
359,015,600원
없음
본 장비는 반도체, 에너지, 화학 등 분야에서 다양한 소재 및 제품의 정성 및 정량 분석을 위하여 사용되는 장비이다. 엑스선을 여러 가지 광학장치(Crystal 등)를 이용하여 분해능을 높인 장치로서 이것을 이용하면 시료의 결정구조 해석과 박막 분석(박막 결정 구조, 두께 및 박막 계면의 거칠기), 결정구조의 왜곡 및 결정의 배향 등을 분석할 수 있다.
(1) 엑스선 회절 분석기
1) 엑스선 제너레이터 : 4 kW (60 kV, 60 ㎃) 이상
2) 엑스선관 : 밀봉형 또는 회전형 Cu 양극 타입
3) 고니오미터
- 최소 구동 단위 : 0.0001도 이하
- 반경 : 240 ㎜ 이상
4) 다축 시료 스테이지
- 5축 (Chi, Phi, X, Y, Z) 모터 구동 타입
- 최대 80 ㎜ 크기 샘플 로딩
- 시료 홀더 포함
5) 입사빔 광학계
- 평행빔 미러
- 평행빔 미러 & Ge 2 바운스 단색화 옵틱
6) 회절빔 광학계
- 평행판 콜리메이터 : Acceptance 0.27도 이하
- Ge 3 바운스 분석 크리스탈
7) 모터 구동 타입의 자동빔 감쇄기
8) 검출기
- 가스 충진형 검출기 : 0D 모드 측정
- 반도체 검출기 : 1D, 2D 모드 측정
9) 동작시스템
- 운영체제 : Windows 10 PRO
- 메모리 : 8 GB
- 듀얼 LED 모니터
(2) 분석 소프트웨어
1) 장비 제어 소프트웨어
2) 상분석 소프트웨어
3) 박막 분석 소프트웨어
(3) 부대 설비
1) 정전압 안정화 장치
- 전원용량 : 10 kVA
- 출력전압 안정도 : 220 V ±3 %이내
2) 공랭식 칠러타입 냉각장치
- 온도조절 범위 : 5 ∼ 35 ℃
- 온도유지 오차 : ±2 ℃ 이내
3) 압축공기 공급장치
- 최대압력 : 8 bar
- 공기 흡입 용량 : 50 리터/분
4) 데이터시스템용 테이블 및 의자
기관의뢰 직접사용
고정형
건별
[EA] 1원
본 장비는 다양한 소재를 대상으로 시료의 엑스선 (xray)결정 분석, 박막 샘플의 격자구조, 각 레이어 두께 분석을 위한 엑스선 회절분석기 및 관련된 부속품의 구매에 적용한다.
○ X-ray Generator : 4 kW (max 60 kV, max 100 mA)
○ Tube Voltage / Current : (15 ~ 60) kV / (5 ~ 60) mA
○ X-ray Focus Size : (0.4 ~ 12) mm
○ Detector Size : 256 x 256 pixels(each 55 x 55 µm2)
○ Background Noise : Less than 0.5 counts per second for whole detector
○ Sample Holder : 80mm
○ Smallest Addressable Increment : 0.0016 degree
○ Maximum Angular Speed : 15 deg/sec