Hitachi
SU8600
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2023-11-13
519,186,317원
없음
소재 표면 형상 분석 및 원소 조성 분석
- 금속나노입자, 반도체 나노입자, 양자점, 카본닷, CNT 등 소재 표면 형상 분석
- 콜로이드, 필름, 파우더, 펠렛, 고체 샘플이나 웨이퍼 상의 국부적 형상 및 화학 조성 분석
- 고체, 파우더와 현미경상의 필름 및 웨이퍼의 형상, 원소 조성 측정
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
[EA] 1원
집속된 전자 beam에 강한 자계를 걸어 시료와 전자빔과의 상호작용에 의해 방출되는 이차전자 (Secondary electron, SE) 혹은 후방산란전자 (Back scattered electron, BSE)을 이용하여 물질 표면의 형상이나 구성을 관찰 또는, EDS (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy)를 이용한 원소 정성 및 정량 가능
◎ FE-SEM
1. Resolution : 0.6nm guaranteed at 15 kV
0.7nm guaranteed at 1 kV
2. Magnification : ~ x2,000,000(Photo mode)
3. Accelerating voltage : 0.01 to 30 kV
4. Probe current : ~ 500 nA
5. Specimen movements : X : ~ 70mm, Y : ~ 50mm, Z : ~ 40mm
T : - 4 to + 70˚, R 360o
Computer control by motor drive stage
◎ EDS
1. Detecor size : 100mm2 (127 eV at 130,000 cps)