㈜파크시스템스
XE7
4년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사탐침현미경
2020-09-25
83,000,000원
기관의뢰
고정형
시간별
[Hr] 100,000원
유무기 전자재료의 비파괴 구조 분석을 위한 분석장비 및 표면의 전하분포 측정 가능
소재 자체의 구조 분석을 시편의 파괴 및 전처리없이 nm단위로 분석할 수 있는 거의 유일한 분석법이라 할 수 있음. 이로부터, 전자소자를 제작하기 위한 중간결과 분석 및 최종결과 분석을 자유롭게 수행 가능하게 됨.
원자현미경은 마이크로머시닝(Micromachining)으로 제작된 탐침을 시료표면에 가져갔을 때 생기는 원자간의 상호작용력을 측정하여 시료표면을 ㎚ 단위 이하로 3차원적 형상 분석 함
측정 기능:Contact AFM, Dynamic Contact AFM, True Non-contact AFM, LFM, Phase Imaging, EFM, DC-EFM
A. 주사탐침현미경 본체1) AFM 스테이지 / 헤드 / 스캐너- 최대 샘플 사이즈: 100mm x 100mm ( 두께: 최대 20mm )- 최대 샘플 중량: 500g- 샘플 이동거리(XY): 최대 25mm x 25mm ( 고정밀 스테이지 )- 최대 50㎛ 수평(XY) 스캐너: Closed-loop Feedback 제어 * 수평(XY) 측정영역: 최대 50㎛ x 50㎛ * Out-of-plane curvature: 1㎚미만 (수직방향/소프트웨어 보정없이, 40㎛ 측정 시)- Closed-loop XY resolution: 0.6㎚ - 분리형 수직(Z) 스캐너 * 수직(Z) 측정 영역: 최대 12㎛- 분리형 수직(Z) 스테이지 이동: 29.5mm- Z Resonant Frequency: 9KHz- 캔틸레버 변형의 검출 방식: SLD ( Super Luminescent Diode ) 이용 * 파장: 830㎚ ( Coherent Length: 50㎛ 미만 )- 캔틸레버 진동 주파수: 최대 3MHz- 측정 Resolution: 0.1㎚ 이하- SPM 측정 기능 : Contact AFM, Dynamic Contact AFM, True Non-contact AFM, LFM, Phase Imaging, Force vs. Distance curve, FMM, Nanoindentation, MFM, EFM, DC-EFM, KPFM 그리고 PFM- 비디오 광학 현미경: 수직(Z) 스캐너 축에 일치 ( CCD 카메라 장착 ) * 배율: 780 배 이상 ( 19“ LCD 모니터 상 ) * 해상도: 1M pixel ( 10X objective lens ) * 디지털 인터페이스: IEEE 1394 * 관찰 영역: 480mm x 360mm
B. EFM ModeElectrostatic Force Microscopy (EFM), Electrostatic Force Modulation Microscopy, Kelvin Probe Force Microscopy and Piezoelectric Force Microscopy1) 시료표면의 전위, 정전하 분포, Piezoelectric 응답분광, Piezoelectric 힘 분포 및 전하분포 측정2) Lock-in Amplifier 사용3) Topography와 EFM, SKPM, PFM, AC / DC EFM 등을 동시 측정4) 적용 Mode- True Non-Contact Mode / Contact Mode- Electrostatic Force Modulation Microscopy 는 Contact Mode에서 측정5) Frequency range: DC ~ 3MHz
C. 데이터 시스템1)시스템 성능- X/Y/Z 스캔 제어: 하드웨어 Closed-loop Feedback 제어- Tip / 시료 접근: 5 Phase 스텝 모터 구동 * Backlash-free harmonic gear reduction- 레이저 빔 정렬: 광학경로에 방해물 없어서 캔틸레버에 손쉽게 정렬- 캔틸레버 교환: 칩 마운트를 이용하여 손쉽게 교환가능- 도브테일 헤드 마운트: 레일을 따라 이동함으로써 탈착 용이2) 소프트웨어- 데이터 수집/분석 * 윈도우 기반 데이터 수집 및 이미지 처리 * 기울기 및 굴곡 실시간 자동 보정 * 동시에 최대 16 이미지를 얻음 * 데이터 파일 형식: PNG / JPEG / Text files * 측정 이미지 크기: 64x64, 128x128, 256x256, 512x512, 1024x1024, 2048x2048, 4096x4096- 이미지 처리 * 푸리에 Power Spectrum 편집 * Low Pass Filter / 보정 * 1차-2차 다항식 곡선근사- 데이터 분석 * 라인 및 면적의 위치를 사용자가 직접 선택 * 라인분석: Height(Min, Max, Mid, Mean, Range, RMS), Line Width, Angle, Line profile, Power Spectrum, Line Histogram * 면적 분석: Height(Min, Max, Mid, Mean, Range, RMS), Average Roughness, Grain Size Analysis, Histogram- 프리젠테이션 * 사용자가 채색을 직접 선택 * 동시에 여러 개의 이미지 표시 * 3-D 이미지 표시 및 서로 다른 이미지 중첩 표시- 한글 지원