㈜코샘
CX-200plus
4년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2020-09-03
70,000,000원
1) 본 제품은 전자빔을 시료에 주사하여 표면에서 발생하는 2차 전자(SE)와 후방산란전자(BSE)를 수집한 후 영상신호로 변환시키는 장치로서 표면 및 미세조직, 파단면 등을 고배율로 관찰 할 수 있는 장비임.
2) 전자빔은 텅스텐 필라멘트를 사용하여 높은 휘도의 사진을 얻을 수 있어야 함.
3) ~×300,000배와 동등 또는 그 이상의 고배율로 분석이 가능하여야 함.
4) 진공은 터보펌프, 로터리펌프를 이용하여 최대 10-6 torr의 진공도를 만들 수 있어야 함.
5) 1kV ~ 30kV 이상의 범위의 다양한 가변전압을 선택할 수 있어야 함.
6) 터보펌프(Turbo Pump)의 사용으로 초기 진공 시간이 짧아 이미지 확인까지 약 3분 이내에 영상 확인이 가능해야 하며, 진공 해제 시간이 60초 이내로 신속한 영상 관찰이 가능한 제품이어야 함.
7) 여러 시편 사이를 클릭 한번으로 쉽게 이동할 수 있는 제품이어야 함.
8) 키보드와 마우스를 이용하여 시료의 위치변경, 이미지의 포커싱이 가능해야 함.
9) 원하는 배율을 기록하여 한 번의 포토버튼으로 지정한 배율의 오토 이미징이 가능해야 함.
10) SE디텍터를 이용한 이미지. BSE디텍터를 이용한 Compo, Topo 이미지를 얻을 수 있어야 함.
11) 추가적인 공급장치(UPS 및 Air)가 필요 없어야 하고, 일반전원 220 VAC, 3 KW 이내이어야 함.
12) 전자현미경에 에너지분산분광기(EDS)를 추가로 설치 할 수 있어야하며, 설치 후에는 실시간 서버를 통해 실시간 통신을 하여 전자현미경의 정보를 에너지분산분광기가 항상 공유하고 있어야 함.
13) 16bit Process를 사용하여 BSE디텍터가 성분에 따른 Contrast값을 정확하게 분류할 수 있어야 함.
14) 내부에 챔버 카메라가 장착되어있어야 함.
기관의뢰
고정형
시간별
[Hr] 50,000원
1) 주사전자현미경 주장치 (1세트)
2) 이온 코팅기 (1세트)
3) 전자현미경 용 PC 및 모니터 (1세트)
4) SE 디텍터 & BSE 디텍터(각 1개)
5) 챔버 카메라(1개)
6) 텅스텐카트리지(2개) 이상
7) 텅스텐필라멘트(5개) 이상
8) 시료대 및 스타트 킷트(1세트 매뉴얼포함)
9) 전도성 용액(1개)
10) 카본테이프(1개) 이상
11) 전용 Table(1개) 이상
a. 주사전자현미경
1) 배율 : 15배 ~ 300,000배
2) 분해능 : 3nm(30kV, SE Image), 5nm(30kV, BSE Image)
3) 가속전압 : 1kV to 30KV 이상의 범위에서 변경 가능
4) 검출기 : 2차 전자(Secondary Electron Detector) / SE Image
BSE디텍터(Solid Type BSE Detector) / Composition Image. Topography Image
SE+BSE Merge Image / SE.BSE Splite Image
5) 필라멘트 : W(Tungsten Filament Life Time 150hr 이상)
6) 가변어퍼쳐 : 4개 이상의 Variable Aperture 지원
7) 최대 샘플 사이즈 : 130mm(Diameter) x 55(H)mm 이상
8) 스테이지 : 5축 자동모터 구동방식
X: 60mm, Y: 60mm, Z: 5~60mm, Tilt: -20°~90°, Rotation: 360° 동등 또는 이상
9) Working Distance : 5~60mm 동등 또는 이상
10) CCD Camera : Chamber 내부 관찰용
11) 주사방식 : 아래의 Mode 포함한 3개 이상의 Mode
- Mode Ⅰ : 320x240(스캔 속도 3.0 Frame/sec 이상)
- Mode Ⅱ : 800x600(스캔 속도 프레임당 3초 이내)
- Mode Ⅲ : 2560x1920 이상
12) 이미지 Format : JPEG, TIFF, BMP, PNG
13) 자동기능 : 자동초점 및 스티그마, 자동명암 & 밝기, 자동필라멘트
14) 진공 시스템(완전 자동화된 진공 시스템)
- 메인펌프로 터보펌프 채용
- 백업펌프로 로터리펌프 채용
- 콤프레셔를 통한 압축공기가 불필요한 전자밸브 시스템을 적용
- 컴퓨터 전원을 켜지 않은 상태로 진공/벤트가 가능해야 함.
15) 진공모드 : 진공시간 3분, 진공 해제시간 60초 이내
16) 작업 PC
- Core I5, RAM 4GB 이상
- 22“ Monitor 이상
- 100% 키보드와 마우스로 조작 가능해야 함.
17) 운영 SW
- SE 이미지, BSE 이미지 제공
- 마우스 휠을 이용하여 줌인/줌아웃 가능할 것
- 마우스 휠을 이용하여 초점을 비롯한 변수 조정이 가능할 것
- 측정한 이미지 파일을 비교할 수 있는 별도의 창이 소프트웨어 윈도우에 통합되어 있어야 함.
- 전자빔 사이즈를 조정하여 분해능을 조절해 주는 전류값을 화면상에 표시할 수 있어야 함.
- 총 명암과 밝기의 비율 값을 그래프로 보여주는 Histogram 윈도우를 제공하여 명암과 밝기를 적정 수준으로 조정이 용이해야 함.
18) 분석 및 측정 S/W
- 측정한 이미지 위에 Annotation할 수 있는 도형, 각도, 면적, 치수 등 표현 가능
- SEM이미지 프로세싱 Tool 및 라이브 이미지 필터
- SEM 분석에 사용되는 Dynamic Focus지원
- 오토스테이지를 이용하여 샘플 상에 지정한 범위 내에 댜량의 이미지를 자동으로 촬영하고, 그 이미지 들을 합쳐 하나의 큰 이미지로 분석 가능 (Panorama 분석)
b. 이온 코팅기
1) Instrument Case : 420(W) X 220(D) X 230(H)mm
2) Work Chamber : 100mm (Dia) 이상
3) Weight : 10 Kg
4) 골드(AU) 타겟 : 50㎜ Dia.☓ 0.1㎜ (T) 이상
5) 로타리 펌프: 50ℓ / min 이상