Bruker
PI 85L SEM Picoindenter
10년
주장비
시험
물리적 측정장비 > 표면특성측정장비 > 달리 분류되지 않는 표면특성측정장비
2022-11-25
210,000,000원
기관의뢰 직접사용
고정형
건별
[EA] 원
o 정전식 액추에이터는 하중을 인가하는데 사용되며, 깊이는 3-plate 차동 용량성 센서를 사용하여 결정
o 하중은 정전기적으로 적용되고, 변위는 Transducer의 고유한 디자인을 활용하여 용량적으로 측정
o 사용자는 변위를 동시에 감지하면서 하중을 인가하거나, 또는 Feedback loop를 통해 하중을 조정하여 미리 설정된 변위 비율을 적용
1. In-situ Nanoindentation system
1) Control mode : intrinsic Force Control
- Max Data acquisition rate : 39 kHz
2) Load Nanoindentation - Available
- Load(Force) range : 1μN ~ 10mN
- Load(Force) resolution : 3nN
- Load(Force) Noise Floor : 0.4μN (400nN)
3) Displacement Nanoindentation - Available
- Max Displacement(Depth) : 5 mμ
- Displacement(Depth) resolution : 0.02nm
- Displacement(Depth) Noise Floor
: 1nm
2. Dynamic mode Included nanoDynamic –
- Frequency Range : 1~300Hz
3. Available to replace or detach the
Indentation Tip