Tescan
Mira4
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2024-04-02
561,227,773원
없음
○ 집속된 전자빔을 시료표면에 조사하여 전자빔과 시료와의 상호작용에 의해 발생하는 이차전자, 후방산란전자, 특성 X-선 등을 이용하여 시료의 표면을 관찰하는 장비이며, 다양한 재료(금속재료, 세라믹, 고분자, 분말, 성형체, 소결체 등)의 형상 및 미세조직, 화학 조성의 정량적인 분석(EDS), 결정립 크기 및 집합조직(EBSD) 등의 다양한 분석이 가능합니다.
○ EDS, EBSD 및 내부에 in-situ 모드로 기계적 변형 거동을 관찰하면서 재료의 기계적 특성을 측정할 수 있는 나노인덴터(현재 조달청 입찰완료)를 장착하여 기존 주사전자현미경에서 측정하기 어려운 다양한 미세조직의 정량적 분석(결정립 크기, 쌍정/전위밀도, 집합조직 등)과 기계적 특성/변형거동을 실시간으로 관찰이 가능합니다.
주사전자현미경 장비는 다양한 공정으로 제조된 다양한 합금계 분말의 형상·크기·표면분석·기공분석, 미세조직 분석(나노조직~마이크론), 분말성형체 및 소결체의 미세조직분석, 첨가원소의 정성/정량 분석, 결정학적 방향성, 전위·쌍정 밀도의 정량화, 분말소재 및 소결체의 In-situ 기계적 특성(나노인덴터)을 분석할 수 있는 장비로 소재 부품의 특성평가 및 신뢰성 평가에 핵심적으로 필요한 장비입니다.
기관의뢰
고정형
시간별
[Hr] 80,000원
다양한 합금계 분말의 형상·크기·표면분석·기공분석, 미세조직 분석(나노조직~마이크론), 분말성형체 및 소결체의 미세조직분석, 첨가원소의 정성/정량 분석, 결정학적 방향성, 전위·쌍정 밀도의 정량화, 분말소재 및 소결체의 In-situ 기계적 특성(나노인덴터)을 분석할 수 있는 장비입니다.
Performance and Specification
1. FE-SEM System Specification
<1> Electron Optics:
1) Electron Gun : High brightness Schottky emitter
2) Resolution : 1.0 nm at 30 kV(SE)
1.8 nm at 1 kV(SE)
2.0 nm at 30 kV(BSE)
3) Magnification : 2x – 1,000,000x or wider
4) Electron Beam Energy : 50 eV to 30 keV
5) Probe Current : Max. 400 nA
- beam optimization including direct and
continual control of beam spot size and beam
currents continuously without OL Aperture
change
6) Electron Optics Working Modes
- Wide Field : Provides an extra-large field of view for
extra-low magnification imaging or easy sample
navigation.
- Resolution : Ultra-high resolution mode for universal
usage
- Depth : Sets the column up in a high-resolution
mode that enhances depth of focus
- Overview : Mode displaying a large undistorted
field of view
<2> Vacuum System: :
- Chamber Vacuum : High Vacuum Mode: 10-3 Pa
- Single Vacuum Mode: 30 ±10 Pa
<3> Chamber Suspension : Integrated air vibration
isolation
<4> Specimen Stage :
1) Type : Compucentric, Fully motorized
- Motorized stages with eucentric movements (PC
controllable) to keep the current view field during
rotation or tilt for the whole range of working
distances.
2) Movements : X = 130 mm
Y = 130 mm
Z = 100 mm
Rotation : 360°
Tilt: : –60° to +90°