Thermo Fisher Scientific
Helios 5 UX
11년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 달리 분류되지 않는 현미경
2021-09-29
1,325,442,264원
없음
◎ Focused Ion Beam (FIB)
- 분해능 : 4nm/30kV
- 가속전압 : 500V-30kV
- 프로브 전류 : 1pA – 65nA
◎ Scanning Electron Microscopy(SEM)
- 분해능 : 0.7nm/1kV, 0.6nm/30kV
- 가속전압 : 0.1kV-30kV
◎ 추가기능
- EDS : 125eV (Mn)
- 자동 TEM 시료제작 (Auto TEM)
- Nano-manipulator (Easylift)
기관의뢰
고정형
시간별
[Hr] 250,000원
- FIB : 30kV로 가속된 Ga ion을 시료에 조사하여 재료를 에칭하는 기술로서 표면 단면을 관찰
- SEM : 전자빔을 발생, 가속시켜 시료에 조사한 후 시료표면에서 발생된 2차 전자-후방산란전자 등을 이용하여 미세한 표면의 요철 및 조성상을 관찰
▫ FE-SEM resolution : 0.7nm(15kV), 1.5nm(1kV)
▫ FIB resolution : 4nm (30kV) 이내
▫ Gas injection system : Pt, W, C Precursor
▫ Fully motorized stage : Piezo goniometer stage
▫ Detector : ETD, TLD(SE/BSE)
▫ scanning resolution : 4096 x 3072 이상
▫ Manipulator system, 3D Tomography software, Fully Automation TEM sample preparation system, EDS(SDD detector 100㎟, Accessories