에타맥스
PLATO
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 광학검사기
2023-07-20
453,730,000원
없음
1) 원자, 분자, 고분자 및 결정체에 외부에너지를 가하여 그 물질 내의 고유한 전자 상태간의 전이(transition)에의해 흡수된 에너지를 빛 형태로 방출하면서 원래의 평형 상태로 되돌아가는 일련의 물리적 현상을 이용한 측정 장비임
2) 에피 두께 균일도 및 LED 에피 파장 특성 분석 장비로 연구개발 및 제품 품질 평가에 활용도가 높은 장비임
전력반도체, VCSEL, 광통신 어플리케이션 등에 사용되는 화합물 반도체의 광발광 분석을 위한 장비이며 레이저를 여기시켜 시료에서 발광하는 빛을 수집하여 분광기로 분광 후 파장 및 그 세기를 분석하는데 사용된다.
기관의뢰 직접사용
고정형
건별
[EA] 1원
- 전력반도체, VCSEL, Laser diode 등 광부품의 광통신 응용분야 등에 사용되는 화합물 반도체의 광발광 분석을 위한 장비이며 레이저를 여기시켜 시료에서 발광하는 빛을 수집하여 분광기로 분광 후 파장 및 그 세기를 분석하는데 사용 가능.
- 광발광 여기광원 레이저 파장 및 출력
⦁ CW DPSS 레이저 : 355 ㎚, 출력 : 20 ㎽ / CW OPSL 레이저 : 532 ㎚, 출력 : 50 ㎽
⦁ CW Diode 레이저 : 980 ㎚, 출력 : 100 ㎽ / White light source : 5W Tungsten Halogen Lamp
- 다수의 회절격자/광 검출기 적용 분광기
⦁ 초점 거리 : 328 ㎜
⦁ 회절 격자
- 150 lines/㎜, 1250 ㎚ 최대 효율 - 300 lines/㎜, 1200 ㎚ 최대 효율 - 150 lines/㎜, 500 ㎚ 최대 효율 - 300 lines/㎜, 760 ㎚ 최대 효율
⦁ 분해능
- 300 lines/㎜, 760 ㎚ 최대효율 회절격자 + Si CCD +최소 슬릿 폭 조합 시 최대분해능 약 0.15
⦁ 검출기
- Si CCD : 200 ㎚ ~ 900 ㎚ 영역 신호 검출용
- InGaAs : 900 ㎚ ~ 1650 ㎚ 영역 신호 검출용
(1) 장비는 총 1세트이며, 크게 아래 2가지 항목으로 구성된다.
- 오토 PL맵핑 장치 PLATO 본체 : 1세트
- 부대설비 : 진공펌프 1세트
(2) 본체 구성 품목은 다음과 같다.
- 광발광 여기광원 레이저 : 3세트(355nm, 532nm, 980nm)
- 다수의 회절격자/광 검출기 적용 분광기 : 1세트
- 2 ~ 8인치 웨이퍼 정렬/이송용 로봇, 정렬기 : 1세트
- 웨이퍼 맵핑용 자동 2축 스테이지 : 1세트
○ 오토 PL맵핑 장치 PLATO 본체
(1) 광발광 여기광원 레이저 파장 및 출력
⦁ CW DPSS 레이저 : 355 nm, 출력 : 20 mW
⦁ CW OPSL 레이저 : 532 nm, 출력 : 50 mW
⦁ CW Diode 레이저 : 980 nm, 출력 : 100 mW
⦁ White light source : 5W Tungstem Halogen Lamp
(2) 다수의 회절격자/광 검출기 적용 분광기
⦁ 초점 거리 : 328 mm
⦁ 회절 격자
- 150 lines/mm, 1250 nm 최대 효율- 300 lines/mm, 1200 nm 최대 효율- 150 lines/mm, 500 nm 최대 효율- 300 lines/mm, 760 nm 최대 효율
⦁ 분해능
- 300 lines/mm, 760 nm 최대효율 회절격자 +
Si CCD +최소 슬릿 폭 조합 시 최대분해능 약 0.15 nm
⦁ 검출기
- Si CCD : 200nm ~ 900nm 영역 신호 검출용
- InGaAs : 900nm ~ 1650nm 영역 신호 검출용
(3) 웨이퍼 정렬/이송용 로봇, 정렬기
⦁ 카세트 슬롯 맵핑 센서가 장착된 2-8 인치 웨이퍼 이송용 3축 로봇,
컨트롤러 1세트
⦁1세트로 4가지 사이즈(2,4,6,8”)의 웨이퍼 정렬이 가능한 웨이퍼 정렬기 1세트
(4) 웨이퍼 맵핑용 자동 2축 시료 스테이지
⦁ 시료 스테이지 : 최대 8 inch 시료
⦁ 분해능 : 1 um