FEI Company
SCIOS 2 HiVac
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 달리 분류되지 않는 현미경
2022-10-26
1,011,706,300원
없음
1. Electron optics
1) Electron Beam Resolution
- 1.0nm at 15 kV SE resolution
2. High Throughput ion column optics
1) High-current ion column with Ga liquid-metal ion source
2) 3 nm at 30 kV(65nA)
Ga source를 활용한 집속이온빔의 식각 특성을 활용하여 Sub-Micro & Sub-Nano의 미세 영역을 가공 및 분석하는 장비로 투과전자현미경의 샘플 제작 및 표면분석, 샘플 내부 결정, 결함 분석에 활용될 수 있고, Cryo System을 활용한 고분자, 바이오 시료에 대한 분석 및 지원 가능
기관의뢰
고정형
시간별
[Hr] 200,000원
lectron 및 Ion 의 두 개의 column으로 이루어 진 Dual Beam system이 적용 된 장비이며, Ga source를 활용한 집속 이온 빔의 식각 특성을 활용하여 Sub-Micro & Sub-Nano의 미세 영역을 가공 및 분석하는 장비
1. Electron optics
1) Electron Beam Resolution
- 1.0nm at 15 kV SE resolution
2. High Throughput ion column optics
1) High-current ion column with Ga liquid-metal ion source
2) 3 nm at 30 kV(65nA)