1. 챔버
- 챔버는 녹방지 미네랄 울로 전열처리
- 챔버는 최대 용량을 적재 할 수 있도록 rectangular type
- 챔버에는 원활한 밸리데이션을 할 수 있도록 최소 2개의 1인치 이상의 Tri-clamp validation port가 장착되어 제공 가능하다.
2. 도어
- 도어실링
가스켓에 압축 공기가 주입되어 도어가 안전하게 밀봉되며, 만약 싸이클 중간에 가스켓과 그루브 사이에 압력 손실이 있다면 그에 따른 알람이 발생한다.
- 도어 Blocking system (인터로크 장치)
도어 안전 장치로, 챔버 문은 전원 스위치를 켜야만 열수 있고, 문이 열려있으면 사이클이 동작하지 않는다. 챔버 압력과 외부 압력이 상이할 시 문이 열리지 않으며, 또한 시스템상 양문이 동시에 열리지 않게 제작/설계되어 교차오염을 방지한다.
3. 진공 방식
- 진공 시스템
수봉식 진공펌프의 강력한 힘을 이용해 챔버 내부안에 있는 공기를 효율적으로 제거하여 진공 상태를 만들어 준다.
4. 벨브
- 감압 벨브
감압 벨브가 장착되어 2.5~3bar의 안정적인 스팀압력으로 챔버와 자켓으로 스팀을 분배시켜준다.
5. 에어필터
- 건조 단계 후 외부 공기가 에어 필터에 유입되며 진공 해제되고, 에어필터는 0.22µm 이하의 미립자를 99.97% 제거할 수 있다.
6. 컨트롤 패널
- HMI 터치스크린 컨트롤 시스템
- PLC 시스템을 통하여 운영되어지며, 컬러 터치스크린 (청정구역/ 오염구역)을 이용하여 작업자가 손쉽게 공정과정을 확인 및 조치가 가능하다.
또한 USB port를 사용하여 이전 싸이클 배치 리포트를 PDF 파일로 저장 할 수 있다.
7. 배수 및 응축수
- Drain 온도 센서가 배수라인의 장착되어 있어 배수되는 온도를 측정 할 수 있다. 또한 챔버내에서 발생한 스팀 응축수는 열교환기를 통해 60도 이하로 낮춰진 상태에서 배수가 된다.
- 자켓으로 공급된스팀에서 발생하는 응축수는 저장탱크로 다시 돌려보내 재사용이 가능하다.