a. Main chamber
: Port : TC(1), Vacuum gauge(2), Pumping(2), Electrode(6), Substrate(1), View port(2),
Thickness measurement (1), Spare (2),
: Front door type – manual open
: Material : SUS304 / Al6061
: Size : 약 450(W) X 450(D) X 520(H)
: inner skin : SUS316
: Surface treatment : electro polishing
- Material : SUS 304로 제작하고, 전해 연마 처리
- Inner skin을 설치하여, 내부 오염원 제거가 용이해야함
- Type : D형으로 제작하고, 전면 도어 개폐형식 내부 시창 2개소(shutter)

b. Frame & controller
: Painted steel frame
: Four(4) foot master
: Standard 19“ electronics rack
: Utility for cooling water, compressed air etc
- 재질은 SS41로 제작하여 무거운 하중에도 견뎌야하고,
- 분체 도장 하여 부식에 방지 되도록 해야 함.
또한 이동이 가능하도록 바퀴와 고정이 되도록 풋마스터를 설치하고, 19“ 규격의 전장렉을 설치하여, 제어 판넬과 각종 Controller unit의 설치가 용이하여야 함.
- 전면에는 시스템 제어가 용이하도록 장비와 일체형으로 구성하고, 운영에 있어, 만일에 모르는 안전 사고 및 오작동 방지를 위해 safety interlock 및 alarm 기능이 구성되어야함.

c. Thermal evaporation source & Control unit
: Source (3set)
- Power Feedthrough (cooling water)
- Ceramic shielded
- W-boat, Crucible Filament
- Shutter, shield wall
: Thermal evap. power control unit(2set)
- Phase control type
- High stability : ±1.0 %
- Power capacity : 2Kw
- Down transformer
- C.Current/C.Voltage control
- CT for current measurement
메탈, 유기물, 산화물 프로세서가 가능하고, Source간 오염 방지를 위해 개별 shutter 및 차폐막을 설치하고, 냉각순환타입의 전극을 설치하여, 발열에 의한 손상이 없도록 해야 하며, 오염물에 의한 전기적 절연이 되어야 하고, Boat 및 filament source의 장착이 용이해야함.
- Thermal power supply는 별도의 Power supply를 사용(자체제작 사용불가)
Power 용량 : 2KW이상
- Co-deposition 및 개별 운영이 가능해야 함.
- 정전압 / 정전류 제어가 가능해야 함.

d. Substrate zig.
: Substrate size : 4“ or 6“ dia. x 3stage
: Cooling type
: Motorized rotation with ferroseal
: Pneumatic shutter
- Sample size는 4”or 6“
- Sample 회전이 가능해야 하고, 구동축 Seal Ferro seal로 회전 시 진공의 누설이 없도록 해야 함
- 별도의 holder를 제작하여, Sample 로딩이 용이해야함.
- Sample이 열에 의한 손상을 최소화하기 위해 순환 냉각타입으로 제작해야 함.
- 공압 Shutter을 설치하여, 정확한 두께 증착이 용이하도록 해야 함.
- 각 stage는 개별적으로 빗각 조절이 가능해야함(0~80도)
- 각 stage는 개별적으로 자전이 되어야 하고, 공전이 가능해야함.

e. Pumping unit
: Turbo pump
Pumping speed - 1100 liter/sec 또는 이상
Magnetic bearing type & chemical type
: Rotary pump
Pumping speed - 600 liter/min 또는 이상
Chemical type (Fomblin Oil & Kalrez O-ring)
: Gate valve (ISO160, pneumatic)
: Roughing & foreline valve (pneumatic), auto vent valve for pump
: Pumping adaptor, foamed bellows, clamp & centering
- Vacuum unit 는 고진공 / 저진공 pump로 구성 함.
- Turbo pump & controller (High vacuum unit) pumping speed 1100L/sec 이상으로
Magnet bearing type으로 공급하여야 하고, 진공도는 1.0xE-7(Torr)이하 (1시간 이내)의 사양으로 제작해야 함.
- Rotary pump (Low vacuum unit)
저진공 pump는 600L/sec 이상급으로, 유기물 증착에 의한 오염을 최소화하기 위해 Fomblin oil을 사용해야함.
- 공압 타입의 Gate valve, Roughing / foreline valve를 구성하고, Valve간 상호 인터락이 되도록 구성해야 함.
- Foreline에 별도의 Auto vent valve를 구성하여, 오일 역류 방지가 되도록 구성 해야 함.

f. Vacuum measurement unit
: Glass type ion gauge (1ea)
: Convection gauge (2ea)
: Vacuum display unit & cable
- High level gauge는 Ion gauge(E-10Torr)
- Low level gauge는 Convection gauge(E-3Torr) (2ea) 설치하고, 별도의 readout를 설치 해야 함.

g. Multi Deposition control unit[Inficon 또는 동급 이상]
: Resolution ±0.015Å, 100 Processes, 1000 layers, 50 films
: Thickness crystal sensor & package
: Process layer & power control
: Vacuum feedthrough for signal & water
: Thickness control unit & cable
- 동시 / 개별 증착 / 다층 증착 제어가 가능한 controller 공급 주파수 해상도는
0.012Hz@6MHz / 두께 및 비율 해상도 ±0.015Å, 100Processes, 1000 layers, 50 films
- X-Sensor kit (Head_냉각, feedthrough)
- Osilator signal cable