KLA
D-500
11년
주장비
계측
물리적 측정장비 > 표면특성측정장비 > 달리 분류되지 않는 표면특성측정장비
2023-02-16
62,158,050원
없음
표면 단차 측정기는 스캔 길이와 속도, 데이터 포인트 수 등을 통해 정밀한 표면 측정이 가능하며, 스타일러스 힘과 단계 높이 측정을 통해 미세한 표면 특성을 파악할 수 있다. 샘플 처리 측면에서도 넓은 범위의 샘플을 다룰 수 있고, 자동 데이터 레벨링과 ASCII 출력을 통해 효율적인 데이터 처리가 가능하다.
표면 단차 측정기의 스캔 길이는 30mm 이상이며, 스캔 속도는 10~400 μm/sec까지 조절 가능하다. 120,000개 이상의 데이터 포인트를 수집할 수 있으며, 수직 범위/해상도는 0.38 Angstrom 이하이다. 스타일러스 힘은 0.03 mg 이하로, 단계 높이 측정 범위는 1200 μm 이상이며,. 샘플 처리에서도 80mm × 20mm 이상의 스테이지 이동, 360° 회전, 20mm 이상의 최대 샘플 두께 및 1kg 이상의 최대 샘플 무게를 다룰 수 있다.
직접사용
고정형
일별
[EA] 1원
KLA 사의 D-500 Alpha Step 장비는 반도체, 나노기술, 재료 과학과 같은 분야에서 표면의 거칠기와 미세 구조를 정밀하게 측정하는데 사용되는 프로파일로미터이다. 이 장비는 높은 정밀도와 재현성을 자랑하며, 단일 측정에서 미세한 차이까지 탐지할 수 있는 뛰어난 해상도를 제공한다. 사용자는 작은 부품의 스텝 높이 측정, 물질 표면의 거칠기 평가, 그리고 다양한 코팅 및 필름의 두께 측정 등 다양한 분석을 수행할 수 있다.
General Performance
(1) Scan Length: ≥ 30 mm
(2) Scan Speed: ≥ 10 ㎛/sec to 400 ㎛/sec
(3) Data Points: ≥ 120,000
(4) Vertical Range / Resolution: ≤ 0.38 Angstrom
(5) Stylus Force: ≤ 0.03 mg
(6) Step Height Measurement: ≥ 1200 ㎛
Sample Handling
(1) Stage Moving: ≥ 80 mm × 20 mm
(2) Rotation Theta: ≥ 360°
(3) Maximum Sample Thickness: ≥ 20 mm
(4) Maximum sample weight: ≥ 1 kg