FEI
Spectra 300
5년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 투과전자현미경
2023-11-28
3,099,807,218원
없음
(1) 고해상도투과전자현미경 이미지 HRTEM(High-resolution transmission electron microscopy) / (2) 고해상도주사투과전자현미경 이미지 HRSTEM(Scanning Transmission Electron Microscopy) / (3) 에너지분산형X선분광 분석법 EDS(Energy-dispersive X-ray spectroscopy) / (4) 전자에너지손실분광 분석법 EELS(Electron energy loss spectroscopy)
수차보정투과전자현미경은 가속된 전자빔을 관측 시료에 조사하여 시료와 전자빔 간의 상호작용에 의해 발생하는 다양한 시그널을 통해 시료의 형태, 결정구조, 원소분포, 전자구조 등을 분석하는 장비이며, 수차보정기 (Cs corrector)를 통해 원자단위의 구조분석이 가능하며, 나노, 반도체, 디스플레이, 바이오 등 다양한 분야의 물질 분석에 활용될 수 있는 장비이다.
기관의뢰
고정형
시간별
[Hr] 400,000원
가속된 전자빔(30~300kV)을 관측 시료에 조사하여 시료와 전자빔 간의 발생하는 다양한 신호를 얻으며,
영상, 회절, 분광 기능을 사용하여 분석하려는 시료의 결정구조, 전자구조, 형태, 성분 등의 정보를 알아낼 수 있다.
<장비 구성 및 성능>
#가속전압 : 30 ~ 300 kV
#Electron gun 종류 : Schottky FEG with monochromator
#수차보정기 : Probe Cs corrector(Tuning process(automatic software))
#해상도 :
*TEM lattice resolution : 0.1 nm
*STEM image resolution (with probe Cs Corrector) :
0.060 nm at 300 kV
0.070 nm at 200 kV
0.096 nm at 80 kV
0.125 nm at 30 kV
#에너지 분해능 :
*Energy Resolution FWHM, Mono OFF ≤ 1.1 eV
*Energy Resolution FWHM, Mono On ≤ 0.3 eV
*EDS(Energy dispersive spectrometer) Energy resolution :
≤ 136 eV for Mn-Kα and 10 kcps (output)
≤ 140 eV for Mn-Kα and 100 kcps (output)