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장비정보

제작사
아트라스콥코 코리아
모델 명
ZR200A2

내용연수
10년
구분
주장비

용도
기타
표준 분류
기계가공/시험장비 > 열유체장비 > 유체발생장비

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2025-01-20

취득금액
864,830,800원
인증정보
없음
기능
CDA 시스템은 공기 중에 포함되는 먼지, 유분, 수분 등의 오염물질을 사용조건에 기초한 기준값 내로 제거하여 CDA(Clean Dryed Air, 압축공기)를 만들고, 디스플레이 공정설비와 클린룸 유틸리티 설비에 공급함
장비 상세설명
1. 용도 : CDA 시스템은 Clean Dryed Air를 공급하는 장치임
2. 요구사양
- Particle purity : 100[EA/m3] AT 0.1um
- Flow Rate : 48.0[NCMM] AT MaX. LOAD
- DEW Point : : < -70 [℃] @ 7.5 BARG
- PRESSURE : Min. 7.5 [BARG] @ OUT OF VENDOR SCOPE
3. 장비에 대한 상세 내용
가. 스크류 2단 압축타입 적용 : 압축실 내 비 대칭형의 암/수 로터가 정밀한 타이밍기어에 의해 비 접촉 회전으로 압축이 일어나며, 과동한 압축열에 의한 효울저하를 방지 하기 위해 인터쿨러를 포함한 2단 압축방식 구성
나. 정속형 / 인버터형 구성
- 공기압축기 4대 중 3대는 정속형(Load/Unload), 1대는 인버터형(Inverter)로 구성하여 상시에는 정속형 2대를 가동하여 디스플레이 혁신공정센터에서 요구하는 48.0[NCMM]을 충족하되, 변동부하에 대응할 수 있도록 인버터형 1대를 구성하였음
다. 오일 Free 타입 적용, 수냉각 냉각방식 적용
4. 장비 구성
가. 공기압축기 4대 (정속형 3대, 인버터형 1대)
나. 에어 리시버탱크 2대
다. 에프터쿨러 2대
라. 흡착식 드라이어 2대
마. 필터 2셋트 : pre, Line, Absorbent, Membrane

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
고정형
사용료 형태
기타

장비 사용료
[Hr] 1원

장비설명

CDA 시스템은 공기압축기에서 압축된 공기를 만들고, 만들어진 압축공기를 리시버탱크에 저장하고, 저장된 고온고압의 압축공기를 에프터쿨러 및 흡착식 드라이어를 통해서 쿨링 및 습기를 제거하고, 필터에 의하여 공기를 필터링하여 깨끗한 공기를 필요한 장비 및 시설에 공급하는 시설장비임

장비 구성 및 성능

1. 주요사양
가. Particle purity : 100[EA/m3] AT 0.1um (According to ISO 8573-1 Class 1.1.0)
나. Flow Rate : 48.0[NCMM] AT MaX. LOAD
다. DEW Point : : < -70 [℃] @ 7.5 BARG
라. PRESSURE : Min. 7.5 [BARG] @ OUT OF VENDOR SCOPE
마. 스크류 2단 압축 타입 적용
바. 정속형 / 인버터형 구성
사. 오일 Free 타입 적용
아. 수냉식 냉각방식 적용
2. 장비구성
가. 공기압축기 : 정속형3대, 인버터형 1대
나. 리시버탱크
다. 에프터쿨러
라. 흡착식 드라이어
바. 필터 세트

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