엠에스테크

없음

반도체 소자(TFT, 다이오드, 센서 등)의 전기적 특성 측정용 프로빙 기능 제공

미세 조절이 가능한 XY 스테이지 및 정밀 마이크로매니퓰레이터 제공

다양한 Probe tip(SMF, Tungsten 등) 장착 가능

Chuck 온도 조절 기능(장비 사양에 따라)

외부 측정기(SMU, Parameter Analyzer 등)와 연동하여
I–V, C–V, Reliability Stress(PBS/NBS 등) 측정 가능

광원, 온도 등 외부 조건 제어가 필요한 실험도 대응 가능(옵션)

본 프로브 스테이션은 반도체 및 디스플레이 소자의 전기적 특성을 정밀하게 측정하기 위해 설계된 장비로, 고정밀 마이크로매니퓰레이터와 안정적인 진공 Chuck을 통해 미세 전극에 안정적으로 접촉할 수 있습니다.
SMU·파라미터 분석기 등 측정 장비와 연동하여 TFT의 Transfer/Output 곡선, 임피던스, 누설전류, 신뢰성 테스트(PBS/NBS) 등 다양한 계측을 수행할 수 있습니다.

또한 진동 억제 구조와 Shielding 환경을 갖추어 노이즈를 최소화하고 재현성 높은 측정이 가능하며, 다양한 크기의 시편(Glass Substrate, Si Wafer 등)을 장착하여 연구·개발 환경에서 폭넓게 활용할 수 있는 핵심 측정 장비입니다.