bruker
NS6 ICON
9년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사탐침현미경
2023-04-03
338,600,000원
기관의뢰
고정형
건별
[EA] 65,000원
디스플레이분야 LED, OLED, QLED 등 표면 조도 분석 및 소자표면 전기적 특성 평가
반도체분야 코팅, 증착, epi 성장, 패터닝 공정 후 구조적 평가 및 전기적 특성 평가
- X-Y scan range : 90µm x 90µm, Max 100um x 100um
- Vertical noise floor : <30pm RMS in appropriate environment typical imaging bandwidth
- Optics view area(샘플표면 확인 범위) : 180µm to 1465µm
- 대면적샘플 측정 : 210mm 직경 이상의 대면적 시료를 비파괴 상태로 바로 측정 가능
- 대면적 샘플 측정시 데이터의 재현성 유지를 위해서 샘플 크기 및 무게에 측정 결과가 영향을 받지 않는 Tip-Scan 방식의 장비
- 주사탐침현미경 레이져 차단 기술
- PeakForce Mode, Tapping Mode, Phase Mode, Surface Potential Mapping, EFM, etc..