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장비정보

제작사
(주)엔아이텍
모델 명
레이저마킹용현미경

내용연수
10년
구분
주장비

용도
분석
표준 분류
광학/전자영상장비 > 현미경 > 광학현미경

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2025-06-16

취득금액
168,300,000원
인증정보
없음
기능
미세 패턴 또는 시편 표면에 레이저 기반 마킹(번호, 문자, 가이드 표시) 기능 제공

고배율 광학계를 이용한 정밀 관찰 및 위치 정렬 기능

레이저 포커스 조절을 통한 미세 포인트 마킹

다양한 기판(Glass, Si wafer, 금속막 등)에 적용 가능

마킹 위치 반복 정렬 기능으로 높은 재현성 확보

마킹 깊이·크기·강도 조절 가능
장비 상세설명
본 레이저 마킹용 현미경은 고배율 광학 관찰 기능과 정밀 레이저 마킹 기능이 통합된 장비로, 시편의 특정 지점에 문자·번호·기준점 등을 미세하게 표시할 수 있습니다.
정밀 스테이지와 고해상도 광학계를 통해 원하는 위치를 정확하게 관찰하며, 레이저 초점을 조절하여 수 μm 단위의 마킹이 가능합니다. 다양한 재질의 기판에서 균일한 마킹 품질을 제공하며, 소자 샘플 식별, 웨이퍼 좌표 마킹, 공정용 가이드 생성 등 연구·개발 환경에서 유용하게 활용됩니다.

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
고정형
사용료 형태
시간별

장비 사용료
50,000원

장비설명

레이저마킹현미경 [NLB-4540MO]는 고출력 ND YAG Laser 발진기와 현미경광학계,
고정도 XYZ Stage가 결합된 장비로, 반도체/ Flat Panel Display 등의 Application에 사용되는 웨이퍼 및 글래스판넬용 정밀마킹 및 가공 현미경입니다.
현미경 NUV대물렌즈를 통한 가공용 YAG Laser를 Sample상에 조사하여,
사용자가 지정하고자 하는 정확한 위치로의 마킹이 가능합니다.
이와 함께, 대물렌즈/동축조명/투과조명/관찰용 카메라를 통해 명시야(Blight Field)
현미경 관찰이 가능합니다.
본 장비에 적용된 HOYA ND YAG Laser는 LCD생산공정에서, Pattern가공 및 마킹의
목적으로 주로 사용되어지면서, 충분한 검증이 완료된 고성능/고출력 Laser System입니다.

장비 구성 및 성능

① ND YAG LASER (532nm, 355nm)
- 제조사 : HOYA社
- HSL-4000 ST (공냉식)
② Video Microscope (for YAG Laser)
- 제조사 : Mitutoyo社
- NUV 10x, 20x, 50x, 100x
- Motorized Revolver (5hole)
- 16M CMOS Camera
- 동축조명, LED Spot Light (3W)
- 투과조명, BX3M-LEDR/ BX3M-PSLED
③ XYZ Motorized Stage
- 제조사 : 국내 제작품
- Travel Range (mm) : 500 x 400 x 100
- XYZ Axis Accuracy(mm) : ±0.01
- XYZ Axis Resolution(mm) : 0.001
- Size(mm) : 약 1500 x 1700 x 1500
④ Anti-Vibration Table
- 제조사 : 국내 제작품
⑤ Image Analyzing Software
- Image저장/측정기능(길이,원,면적 측정 등)
- Multi Focus, Image Tiling Tools etc.

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