Thermo fisher Scientific
Element GD Plus
9년
주장비
분석
화합물 전처리·분석장비 > 질량분석장비 > 달리 분류되지 않는 질량분석장비
2023-12-13
940,700,000원
해당사항 없음
1) 글로우방전 이온소스를 탑재한 고분해능 이중초점 자장섹터 질량분석기를 이용하여 도체 반도체, 부도체 고체시료 및 분말시료에 대한 극미량 직접분석 수행
2) 고속, 고전력의 펄스-DC 글로우방전 셀을 통해 빠르고 안정적인 식각을 지원하여 최고의 감도를 구현
3) 고속방전 아르곤 가스흐름을 이용하여 70개 이상의 유효원소에 대해 시료 당 10분 이내의 유효분석 가능
GD-MS(Glow Discharge Mass Spectrometer; 글로우방전질량분석기)란 도체, 반도체, 부도체의 고체 및 분체시료를 전처리 없이 직접 분석하는 기기로, 희토류 및 희유금속, 광물, 암석 및 토양, 탄소 및 흑연, 귀금속, 합금, 핵물질, 플라스틱, 고분자 소재와 같은 유기물 등에 대하여 금속 성분을 %에서 ppm이하 극미량까지 쉽게 정량분석 가능한 장비이다.
기관의뢰
고정형
건별
[EA] 600,000원
GD-MS(Glow Discharge Mass Spectrometer; 글로우방전질량분석기)란 도체, 반도체, 부도체의 고체 및 분체시료를 전처리 없이 직접 분석하는 기기로, 희토류 및 희유금속, 광물, 암석 및 토양, 탄소 및 흑연, 귀금속, 합금, 핵물질, 플라스틱, 고분자 소재와 같은 유기물 등에 대하여 금속 성분을 %에서 ppm이하 극미량까지 쉽게 정량분석 가능한 장비이다.
*용도
1) 글로우방전 이온소스를 탑재한 고분해능 이중초점 자장섹터 질량분석기를 이용하여 도체 반도체, 부도체 고체시료 및 분말시료에 대한 극미량 직접분석 수행
2) 고속, 고전력의 펄스-DC 글로우방전 셀을 통해 빠르고 안정적인 식각을 지원하여 최고의 감도를 구현
3) 고속방전 아르곤 가스흐름을 이용하여 70개 이상의 유효원소에 대해 시료 당 10분 이내의 유효분석 가능
*규격
1. 고분해능 질량분석기
1) 역 포커싱 구조 (자기장-전기장-검출기 순) 또는 보다 우수한 이중포커싱 섹터 질량분석관이 적용되어야 함.
2) 질량분석관은 최적의 안정성 및 질량범위를 위해 보호되고 온도조절이 되어야 함.
3) 빠른 스케닝과 정확한 질량값 조절을 위해 완전 겹방식의 자기장 질량분석관이 요구됨.
[별지 제6호서식] 물품시방서 <개정 2018.12.10.>
,4) 가속 전압은 가변적이어야 하며 개인용 컴퓨터로 8kV 까지 조절 가능하여야 함.
5) 분해능 간의 변경시간은 1초 이내에 가능하여 빠르고 재현성 있는 검출이 가능하여야 하는데 이를 위하여 시료도입 부분 (이온소스)의 슬릿과 방출부분 (검출기)의 슬릿이 모두 고정형 슬릿으로 구성되어야 함. 이에 부합하여 아래와 같은 분해능이 요구됨. (10 % valley 분해능) :
300 (flat top 피크 측정법)
4,000 (triangular/Gaussia 피크 측정법) 10,000 (triangular/Gaussia 피크 측정법)
(피크 중간 넓이법(FWHM)으로는 10% 벨리법보다 보통 2배 이상의 분해능이 나오며 이는 예를 들어 R = 600, R = 8,000 , R = 20,000 으로 계산됨.)
6) 슬릿의 위치와 이동은 소프트웨어로 완전자동 조절됨. 7) 마그넷은 최대의 안정성을 위해 수냉식으로 유지됨.
8) 쉽고 빠른 대량분석을 위해서는 모든 분해능이 한번의 분석에서 적용 가능함.
9) 백그라운드를 최소화 하고 감도를 높기 위한 이온 전달 옵틱과 그레파이트 차폐렌즈 시스템이 적용됨.
10) 플러그 인 타입의 분해능 조절 슬릿 탑재 11) 니켈 재질의 글로우방전 콘 탑재
2. 글로우방전 소스
1) 글로우방전 셀의 양극 이온소스와 자용자 인터페이스 부분은 안전한 운영을 위해 고전압 없이 그라운드 포텐셜을 유지하여야 함.
2) 마이크로-펄스 DC 글로우방전 이온소스는 아래와 같이 고속, 고성능 가스흐름을 지원함.
ㄱ) 글로우방전 가스 흐름속도는 500 mL/min 까지 지원함.
ㄴ) 전압 컨디션은 400 - 1200 V , 전류 컨디션은 2-100 mA 또는 더 넓음. ㄷ) 펄스 모드 운영 세팅: ≥1 kV, ≤40 μs, ≥2 kHz, ≥400 mL/min 아르곤 방전
가스흐름
3) 시료의 장착 및 탈착이 쉬운 시료 홀더가 탑재됨.
4) 쉬운 양극 교환을 지원하는 소모성의 흐름관이 탑재됨.
5) 안정적인 식각 프로세스를 위한 펠티어 냉각장치 및 가열장치가 탑재됨. 6) 시료와 셀 사이의 진공누수를 막기 위한 분리 진공 복합 시스템이 적용됨. 7) 글로우방전 이온소스가 탑재됨.
8) 박막시료의 반대쪽 부분을 냉각하는 시료홀더를 탑재함. 9) 냉각 시료홀더를 고정하는 장치가 탑재됨.
10) 방전가스를 시료에 보내주는 흐름관과 양극캡이 탑재됨. 3. 고진공 시스템
1) 터보이온펌프를 이용한 다섯 단계의 독립적 진공시스템이 탑재되는데 ≤4개의
터보펌프와 ≤1개의 메카니컬 펌프, ≤1개의 오일의 영향을 받지 않는 드라이 스크롤 펌프가 글로우방전 영역 및 기타 진공영역을 모두 관할함.2) 분리 진공 시스템을 통해 시료부분과 셀부분 사이의 누수를 방지함. 3) GD 이온 소스에 대한 펌핑 시간은 10초 이내여야 함.
4. 검출기 시스템
1) 카운팅 모드의 스위칭 시간에 있어서 딜레이가 없어야 하며 최소한의 변경시간만 요구됨.
2) 이차전자증폭(SEM) 검출기의 카운팅모드와 아나로그 모드간의 신호 변경에 대한 효율성을 높이기 위한 ≥8 kV의 컨버젼 다이노드가 요구됨.
3) 상호전환시간을 최소화하기 위해 이온 카운팅과 아나로그 모드가 호환되는 새로운 버전의 플러그인 방식의 이차전자증폭 검출기가 탑재되며 상호 변경 시간은: ≤0.1 밀리초 in 카운팅 모드
≤1 밀리초 in 아나로그 모드
4) 1012 cps 이상의 강신호를 검출하기 위한 단일 페러데이 검출기를 탑재하고 이 검출기와 이차전자증폭 검출기와의 전환시간은 1/1000 초 이하가 되어야 함.
5) 아나로그 신호와 카운팅 신호의 획득이 동시에 이루어져야 하며 검출기 상호간의 교환이 자동으로 구현되어짐.
6) 완전자동으로 이루어지는 이온 카운팅 / 아나로그 / 페러데이 모드간의 보정이
지원되며 동시에 직진성 동적 농도 범위가 사전 파라미터의 입력이나 사용자의 보정 없이 한번의 검출로도 1012 이상이 자동으로 나와 주어야 함.
7) 이차전자증폭 검출기의 다크노이즈는 초당 0.5 개 이하로 요구됨. 5. 데이터 및 컨트롤 시스템
1) 글로우방전 이온소스 조절, 분해능의 조절 및 변환, 멀티 튜닝 및 자가진단을 포함한 모든 분석이 컴퓨터를 통해 완전자동으로 컨트롤되어야 함.
2) 장비내부의 컴퓨터와 컨트롤 컴퓨터 간에 랜을 통한 데이터 처리가 이루어지며 데이터 시스템과 전기적 보드들은 파이버옵틱을 통해 신호 전달됨.
3) 실시간 데이터 획득 및 장비 파라미터 조절을 위해 내장 컴퓨터를 탑재하고 있음. 4) 장비의 모든 관련 파라미터를 자동 튜닝함.
5) 인터넷/모델/랜을 모두 지원하며 원격으로 언제 어디서나 개인컴퓨터에서 리모트 컨트롤이 지원됨.
6) 아래의 기능을 포함한 완전한 데이터 획득 및 데이터 분석, 보고 소프트웨어 지원됨. ㄱ) 루틴한 정량분석을 위한 상대감도인자(RSF) 및 이에 부응하는 루틴한 자동
보정기능.
ㄴ) 이온빔 비율(IBR)을 이용한 정량 분석법. 6) 윈도우 운영체제를 기반으로 한 컴퓨터 하드웨어 7) 완전한 멀티테스킹.
8) 윈도우 10 소프트웨어 및 아래 동등 이상의 하드웨어 ; 인텔 쿼드코어 CPU, 3.0 GHz
16GB SD램DVD/CD-RW 드라이브 영문 키보드 및 마우스 영문 윈도우 10 운영시스템 24인치 이상의 LCD 모니터
*사양
1) 감도 (중분해능 R≥4000) : > 1 x 1010 cps (1.6 x 10-9 A) for 구리 기준물질 (총이온전류, 피크높이)
2) 동적 농도 분석범위 (Dynamic Range) : > 1012 (자동 교차 보정을 통한 직선 기준) 3) 검출기의 상호 변환 시간 :
a) 아나로그: < 1 ms
b) 카운팅: < 0.1 ms
c) 페러데이 검출: < 1 ms
4) 이온소스(플라즈마) 전위 : 안전을 위한 그라운드 전위여야 함 ( < 1볼트 ) 5) 질량분해능 : > 300, 4000, 10000 (10 % valley, 5 % height법과 동일함) 6) 분해능 전환 시간 : < 1 초
7) 질량값 안정도 : 8시간 이상에서 25 ppm 또는 동등 이상 8) 검출 속도 (자기장) : < 150 ms from m/z 7 to 238 to 7
9) 검출 속도 (전기장) : 1 ms/jump, 질량범위에 영향을 받지 않아야 함. 10) 가속 전압 : 8 kV 까지 지원되어야 함 (분석관에 적용됨)
11) 방전 가스 흐름 속도(아르곤) : 500 mL/min 까지 지원
12) 방전 전압 : 400 - 1200 V 또는 더 넓음, 전류값 2-100 mA와 함께 지원됨.
13) 펄스 모드 운영 세팅: ≥1 kV, ≤40 μs, ≥2 kHz, ≥400 mL/min 아르곤 방전 가스흐름
14) 시료 턴어라운드 시간 : 70개 이상의 원소분석에 대하여 10분 이내.