㈜제이이노텍

없음

Arm-axis (Arm+Hand)
Axis Length : ±750 mm 이상
Speed : 120 °/sec
반복정밀도 :±0.5 mm
A-axis stroke : 1,905 mm 이상
Z-axis (Up/Down)
Axis Length : 700 mm,
Speed : 300 mm/sec,
반복정밀도 :±0.5 mm
Theta-axis (Theta)
Axis Rotate : 0 ~ 320 °,
Speed : 120 °/sec,
반복정밀도 :±0.5 mm
Maximum payload : 10 kg/arm
Sensor : Glass check sensor

1. 본 장비는 주장비인 이온주입기의 보조장비로 주장비와 인터페이스를 통해 공정용 기판의 투입
및 배출이 가능하도록 구성
2. 2세대(370 x 470 mm2) 기판 반송이 가능한 사양으로 주장비와 원환한 인터페이스 구현
3. 주장비 loader부 양쪽 2개의 loadlock port 대응이 가능하도록 주행이 가능
4. Cassette port 구성과 10단 Cassette 대응 가능
5. 청정도 유지가 가능한 인덱스 시스템 구성