Netzsch
LFA467 HT
11년
주장비
분석
물리적 측정장비 > 온도/열/습도/수분측정장비 > 열전도도/열상수측정기
2023-09-22
524,667,000원
없음
- 분석 온도 범위 : 상온 ~ 1,500°C
- 시료 온도 범위 : 상온 ~ 1,250°C
- 조사방식 : 수직형 직접 조사 방식
- 열확산율 측정 범위 : 0.01 to 1000 mm2/s
- 열전도율 측정 범위 : 0.1 to 2000 W/mK
- 열확산율 정확도 : +/- 3% 이내
- 비열 정확도 : +/- 5% 이내
- 가열 에너지 (레이저 펄스 에너지) : max. 10 J
- 최소 측정 시간 : 1ms 이하
- 최대 측정시간 : 120 μs 이하
- 열전도도를 측정하기 위한 분석 장비
- 상온 ~ 1,500°C의 높은 온도 범위를 가지고 있어 인조흑연 분석에 특화 됨
- DSC와 함께 분석하여 열전도도 측정에 필요한 비열 및 열용량 분석이 동시에 가능하여 활용성이 높음
- 측정 시간이 짧아 연속 분석에 용이
기관의뢰
고정형
건별
[EA] 60,000원
- 반도체 공정 중 실리콘 잉곳용 도가니에 적용되는 인조흑연 블록은 높은 열전도도를 필요로 하며, 이에 적용하기 위한 인조흑연의 분석이 필요함
- 본 장비는 비열, 열용량, 열전도도를 측정하는 장비임
- 레이저 펄스를 이용하여 시료의 한쪽 평면을 가열하고, 시료에 조사된 열이 시료의 반대 면에 전달되는 시간, 열 등의 열확산도를 측정하여 시료의 열전도도를 측정함
⦁분석 온도 범위 : 상온 ~ 1200℃ 이상
⦁시험 대기 분위기 : 불활성, 10-4mbar 이하
⦁열전도도 측정범위 : 0.1 ~ 4000W/mK 이상
⦁측정 정밀도 : 열확산도 : ± 3% 이하, 비열 : ± 5% 이하
⦁측정 재현성 : 열확산도 : ± 2% 이하, 비열 : ± 3% 이하
⦁가열 laser pulse : 10J/pulse 이상