㈜파크시스템스
Park NX12
11년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 달리 분류되지 않는 현미경
2022-12-23
237,227,360원
기관의뢰
고정형
시간별
[Hr] 100,000원
• IoT 관련 기기 센서 표면의 코팅물의 균일성을 평가하는 장비로 이미지 측정이 가능한 장비임
• 센서의 소자가 고집적 저전력화로 소자의 크기가 작아지고 있음에 따라 나노 크기의 측정이 중요하게
되었으며 이에 분해능이 좋고 비파괴로 측정이 가능한 장비임
• 대면적의 표면 거칠기 및 형상을 측정할 수 있는 장비임
- 최대 샘플 사이즈: 100mm x 100mm
- 최대 샘플 중량: 500 g
- 샘플 이동거리(XY): 최대 20mm x 20mm
- 최대 100㎛ 수평(XY) 스캐너: Closed-loop Feedback 제어
* 수평(XY) 측정영역: 최대 100㎛ x 100㎛
- 분리형 수직(Z) 스캐너
* 수직(Z) 측정 영역: 최대 30㎛
- 분리형 수직(Z) 스테이지 이동: 25mm
- Z Resonant Frequency: 9KHz- XY & Z scanner: 5개의 Servo Piezo 장착
- 캔틸레버 변형의 검출 방식: SLD ( Super Luminescent Diode ) 이용
* 파장: 830 nm
- 캔틸레버 진동 주파수 : 최대 5MHz
- SPM 측정 기능: Contact AFM, True Non-contact AFM, LFM, Phase Imaging, Force vs. Distance curve, FMM, Nanoindentation, MFM, EFM, DC-EFM, KPFM, Sideband KPFM, PFM, DFRT-PFM, Conductive AFM, STM 그리고 Temperature Control Stage.