TESCAN
SOLARIS X
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2023-06-26
1,743,500,000원
없음
제논(Xe) Laser FIB는 기존 갈륨(Ga) FIB 보다 약 20~30배 빠른 밀링 속도를 가지므로 대영역의 단면을 빠르게 밀링하여 관찰
Xenon Plasma Focused Ion Beam System
기관의뢰
고정형
시간별
[Hr] 150,000원
- Ion Column 혹은 Laser를 주사전자현미경에 부착하여 시료의 원하는 관심 부위를 SEM으로 관찰하며, Xe-Ion Beam 혹은 Laser로 시료의 defect 및 관심 영역을 밀링하여 분석하는 장비임
• Source : 제논 플라즈마
• Beam Current : Up to 3uA or fs laser <350fs
• SEM 분해능 : 0.7nm at 15keV or less
1.2nm at 1keV or less
• SEM 가속전압 : 200eV to 30keV or wider
• Stage Movement : X = 100mm or wider
Y = 100mm or wider
Z = 30mm or wider
T = –15° to 70° or wider
R = 360° continues