Jeol
JSM-IT700HR/LA
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2023-04-24
379,000,000원
없음
1. 인렌즈 쇼트키 전계 방출 전자총을 통합해 고화질 이미지를 고공간 해상도로 관찰·분석 가능
2. 홀더 그래픽(Holder Graphic)과 CCD, SEM 이미지를 링크하는 제로맥(Zeromag) 기능이 가미돼 있어 시료 분석이 용이
3. 라이브 분석 기능인 ‘분석 시리즈(Analytical series)’가 접목된 임베디드 EDS 시스템이 이미지 관찰 시 EDS 스펙트럼을 실시간으로 보여주기 때문에 효율적인 원소 분석이 가능
4. 분석 깊이(특성 X선 생성 깊이)를 보여주는 새로운 기능 덕분에 빠른 원소 분석이 가능
5. ‘스마일 뷰 랩(SMILE VIEW™ Lab)’을 활용해 SEM 이미지부터 원소 분석 결과에 이르는 모든 데이터를 보고서로 만들 수 있음
6. ‘시료 교환 네비(Specimen Exchange Navi)’를 활용해 시료를 안전하고 간단하게 교환 가능
7. ‘오토 빔 설정(Auto Beam Alignment)’ 기능을 활용해 전자 광학을 최적의 상태로 유지 가능
8. ‘드로아웃 교환 시스템(Drawout exchange system)’을 활용해 다양한 크기와 유형의 시료를 수용하는 대형 시료실에 쉽게 접근 가능
본 장비인 전계 방사형 주사 전자현미경(FE-SEM)은 전자총에서 가속된 전자빔이 시편에 도달하여 발생되는 여러 전자 정보 중 이차전자 및 반사전자를 검출하여 미소영역에 대한 상(최대배율 60만배) 관찰기능을 가지고 있을 뿐만 아니라 원소분석기능이 가능한 Energy Dispersive X-ray Spectrometer(EDS) 기능을 포함하여 시료 표면에서 발생하는 X-선을 검출하여 미세영역에 포함되어 있는 원소들에 대한 정성, 정량 분석이 가능함
기관의뢰 직접사용
고정형
건별
[EA] 87,000원
본 장비인 전계 방사형 주사 전자현미경(FE-SEM)은 전자총에서 가속된 전자빔이 시편에 도달하여 발생되는 여러 전자 정보 중 이차전자 및 반사전자를 검출하여 미소영역에 대한 상(최대배율 60만배) 관찰기능을 가지고 있을 뿐만 아니라 원소분석기능이 가능한 Energy Dispersive X-ray Spectrometer(EDS) 기능을 포함하여 시료 표면에서 발생하는 X-선을 검출하여 미세영역에 포함되어 있는 원소들에 대한 정성, 정량 분석이 가능함
ㅇ SEM
- Resolution : 1.0nm(20kV), 3.0nm(1.0kV), 3.0nm(15kV probe current 3nA), 1.8nm(15kV BED)
- Photo magnification : x5 to x600,000
- Display magnification : x14 to 1,679,449(on the monitor)
- Electron Gun : In-lens Schottky field emission electron gun
- Accelerating voltage : 0.5kV to 30kV
- Probe current : A few pA to 300nA
- LV pressure adjustment : 10Pa to 150Pa
- Max. specimen size : 200mm diameter x 75mm(H)
- Specimen stage : X 125mm, Y 100mm, Z 80mm, Tilt -10 to 90도, Rotation 360도
ㅇ EDS
- Detector : SDD type
- Elemental Map : 4,096 x 3,072(Max. pixel resolution)
- Detector Area : 30mm2, 129eV@Mn Ka
ㅇ Automatic Magnetron Sputtering Coater System
- Pt target