Baker Hughes
vtomex M 300
5년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 방사선발생/측정장비 > X-선발생기
2023-04-14
1,475,142,000원
Primary tube: Micro X-ray tube
- Maximum voltage: 300 kV
- Target Power: 500 W
- Detail detectability: 1um(Micro), 0.2um(Nano)
- Voxel resolution: 0.5um
X-ray Detector
- Active Area: 410 x 410 mm
- Sample weight: 20kg
Manipulation system
- CT scan 크기 : D420 x H400 mm
- Max. 10 개 샘플 자동 검증
- 모듈 단위의 전자 부품부터 미세화된 반도체 소자까지 고해상도로 비파괴 분석 가능하여 차량용 반도체 전방위 지원 기술 가능
- 정밀 구조 측정, 3D CT 기능 등을 이용한 내∙외부 형상 확인을 통해 반도체의 취약구조 분석 및 설계 개선 가이드 제공 가능
- 자동화(Auto Sample Changer)를 통한 양산품의 검증 효율성 향상 및 품질 편차와 불량품 검증 가능
기관의뢰
고정형
시간별
[Hr] 500,000원
- 모듈 단위의 전자 부품부터 미세화된 반도체 소자까지 고해상도로 비파괴 분석 가능하여 차량용 반도체 전방위
지원 기술 가능(분해능: ~200 ㎚, 단품, 모듈, 패키징)
- 정밀 구조 측정, 3D CT 기능 등을 이용한 내∙외부 형상 확인을 통해 반도체의 취약구조 분석 및 설계 개선 가이드 제공 가능
- 자동화(Auto Sample Changer)를 통한 양산품의 검증 효율성 향상 및 품질 편차와 불량품 검증 가능
1. Primary tube : Micro X-ray tube
2. Secondary tube : Nano X-ray tube
3. X-ray Detector (엑스선 디텍터)
4. Manipulation system (기구장치)
5. 차폐 캐비넷
6. 컨트롤 & 분석 소프트웨어
7. 3차원 해석 소프트웨어