JNC
해당없음
5년
부대장비(부가장치) (주장비:파일롯 필름스퍼터)
기타
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 스퍼터
2023-06-01
237,844,860원
없음
1. 응축기(Condensor) 1EA
- 형식 : FIN TUBE TYPE(80HP)
- FAN & MOTOR : Φ650*0.75Kw*6P*6EA
2. 압축기(Compressor) 2EA
- 형식 : Scroll Type
- 모터출력 : 47.4kW(23.7kW/31.7HP + 23.7kW/31.7HP)
3. 증발기(Evaporator) 2EA
- 형식 : Plate Type
- 재질 : SUS316 & 동브레이징
- 순환유량(Cir. Flow Quantity) : 280 LPN × 2EA
4. 제어부(전원부) 1EA
- 제어방식 : 전자팽창변 제어방식
- 제어온도 및 제어정도 : 5℃~25℃ (±1℃) 범위 이상
- 주위온도 : -15℃~38℃ 범위 이상
- 사용유체 : Clean Water
- 압축기 Gas 용량 : 188,000 Kcal/h(94,000 + 94,000) 이상
- 물 냉각 용량 : 150,400 Kcal/h(75,200 + 75,200) 이상
5. 냉각수 공급 펌프 1EA
- 순환유량 : 260~400 ℓ/min 범위 이상
a) 인버터 사용 일정 압력 공급방식
b) 조작 판넬에서 압력설정 가능하게 함
- 공급양정 : 70~30 m 범위 이상
- 펌프재질 (케이싱/임펠라) : Cast iron / SUS304
- 모터출력 : 11~15Kw
6. 내부순환 펌프 1EA
- 순환유량 : 300~550 ℓ/min 범위 이상
- 공급양정 : 30~10 m 범위 이상
- 펌프재질 (케이싱/임펠라) : Cast iron / SUS304
- 모터출력 : 4~5.5kw
7. 물탱크 1EA
- 탱크용량 : 500 Liter 이상
- 재질 : SUS 304
8. 히터(겨울철 보조용) 1EA
- 히터용량 : 4~6kW
- 장착위치 : 물탱크
9. 필터 하우징 1EA
- Flow Rate : 16~32 m3/Hr
- Inne / Outlet : 65A 이상
- 외관Size : D 350mm / H(L) 1,100mm
- 필터 : L750mm * D50mm * 10㎛ (15~20EA)
10. 물 Pipe Line
- MEGA New Clear Bread Hose : ’SB-15외 2종
- Nylons Tube: N2-1-1/2
- SP Type Coupler Joint : 3P-A_SG 외2종
- 90°Elbow (screw): 3/8B_90 외 2종
11. 냉각수 헤더
- 물탱크(Tank)를 냉각 유닛(Unit)과 분리할 것
- 설비의 전체 커버(Cover)를 쉽게 오픈할 수 있는 구조일 것
- 필터(Filter)를 통해 냉각수 수질 관리를 할 수 있고, 필터 하우징 설치를 통해 정기적인 필터 관리를 가능하게 할 것
- 2대의 펌프(Pump)를 병렬로 구성하며, 1대가 고장일 때에도 자동 전환 시스템을 통해 나머지 1대는 계속 구동됨으로써 설비를 지속적으로 운전하게 할 것
- 온도 및 냉각수 유량 제어를 위한 터치패널을 적용할 것
- 리모트(Remote) 기능을 갖출 것
- 컴프레셔 압력, 냉각수 유량/온도/수위, 설비 온도, 펌프/컴프레셔/팬 전류 이상시 안전 운전을 위한 인터로크 기능을 갖출 것
직접사용
고정형
일별
[EA] 4,000,000원
- 물탱크(Tank)를 냉각 유닛(Unit)과 분리할 것
- 설비의 전체 커버(Cover)를 쉽게 오픈할 수 있는 구조일 것
- 필터(Filter)를 통해 냉각수 수질 관리를 할 수 있고, 필터 하우징 설치를 통해 정기적인 필터 관리를 가능하게 할 것
- 2대의 펌프(Pump)를 병렬로 구성하며, 1대가 고장일 때에도 자동 전환 시스템을 통해 나머지 1대는 계속 구동됨으로써 설비를 지속적으로 운전하게 할 것
- 온도 및 냉각수 유량 제어를 위한 터치패널을 적용할 것
- 리모트(Remote) 기능을 갖출 것
- 컴프레셔 압력, 냉각수 유량/온도/수위, 설비 온도, 펌프/컴프레셔/팬 전류 이상시 안전 운전을 위한 인터로크 기능을 갖출 것
- Type : 공랭식일체형
- 사용온도 : 5 ~ 25 ℃ (온도편차 : 1 ~ 3 ℃)
- 주위온도 : 5 ~ 38 ℃ (7 ℃ 이하 : 부동액)
- 제어방식 : Auto Temp Control
- 압축기 Gas 용량 : 180,000 Kcal/h (90,000*2EA)
- 물냉각 용량 : 126,000 Kcal/h (63,000*2EA)
- 압축기 Motor 출력 : 45 Kw/60HP (30HP*2EA)
- 순환 Pump : 333 ~ 667 L/min (Motor 출력 : 5.1 Kw)
- 물탱크 : 500 L 이상
- 사용냉매 : R(HFCs)-407C