키엔스
VK-X3050
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 공초점현미경
2023-01-04
141,071,720원
기관의뢰
고정형
시간별
[Hr] 100,000원
백색 간섭계 탑재 된 레이저 현미경으로 측정 샘플의 제한이 없고, 샘플의 표면과 거칠기 등 분석에 편함,
레이저공초점 방식으로 미세 형상까지 손 쉽게 측정 가능,
나노, 마이크로, 밀리 단위까지 한번에 측정가능
o 종합배율: 20K이상
- 실제 최대 광학배율(24인치 모니터 기준): 5,000배 이상
- 디지털 광학줌: 1~8배
o 화소수: 560만 이상
o 시료 측정사이즈(최대): 직경 300mm 이상
o 높이 표시 분해능(정밀도): 1nm 이하(0.2+L/100um이하)
o 폭 표시 분해능(정밀도): 1nm 이하(측정값의 ±2% 이내)
o 측정원리 : 레이저 공초점, 백색간섭, 포커스 바리에이션
o XY Stage : 100X100mm 이상(전동)