(주)에이아이티
CMT-SR5000
10년
주장비
분석
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 프로브스테이션
2022-12-05
62,300,000원
기관의뢰
고정형
건별
[EA] 40,000원
제 품 명 : 4탐침 면저항측정기
영문제품명 : Sheet resistance measurement system (4-Point probe system)
위 제품은 일반적인 멀티테스터기로 측정하는 선저항(ohm)과 달리,
일정한 간격을 가진 4개의 탐침(4-point probe)과 전류원 및 전압계를 이용하여 면저항(ohm/sq)을 측정합니다.
CMT-SR5000 모델은 최대 12인치 웨이퍼 또는 M12 솔라셀을 자동으로 측정하고 Data Mapping이 가능한 제품입니다.
물품구성 : 본체(4-Point Probe System), PC, 진공펌프, Reference sample
물품성능 :
1. 측정범위 : 1 mΩ/sq - 2 MΩ/sq
2. 측정단위 : ohm, ohm/sq, ohm.cm & S(두께입력)
3. Sample size: Max 12” or 210X210mm (M12 solar cell)
4. Tester 일체형으로 Desktop type
5. 영국JANDEL High precision 4-Point Probe Head 채용.
6. Auto / Manual & Single / Dual 선택 가능
7. 온도보정을 위한 온도센서 내장
8. 장비 단독측정(Stand-alone) 및 PC를 이용한 Full remote control 측정 및 분석 기능.
9. X, Y, Z-Axis automatic system (Auto scanning)
10. Sample 고정용 Vacuum port (4mm) 내장
11. Electronic accuracy: ±0.5% (Precision resistor)
12. System operating & Data analysis Program 제공 (두께계산, 2D, 3D map 등)
13. 전원 : 220V, 60Hz
14. 본체 Size: 360(W)×830(D)×400(H)mm