Engis
EKW-910IFN-D
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 성형/가공장비 > 표면가공기
2022-12-30
176,000,000원
기관의뢰
고정형
시간별
[Hr] 99,999원
- 소성된 세라믹 히터 ․ 정전척 기판의 표면 평탄도 및 표면조도 제어(1 ㎛ 구현)용으로 정밀가공을 위한 공정장비
- 대면적 세라믹 기판의 고정밀 가공을 위하여 장비의 안정적인 구동이 가능하여야 함
- 반도체용 12“ 크기의 히터 ․ 정전척 소성 기판의 표면 가공이 가능하도록
Lap Plate Diameter: 36″, Work Table Dimension: 50″× 50″, Work Area (sq. in) : 495″로 구성됨
- 소성된 세라믹 기판 표면의 평탄도를 정밀 가공하기 위하여 Single Side 가공이 가능하도록 구성됨
(1) Dimension and Weight
① Machine Dimension : 2,000㎜(W) × 2,400㎜(D) × 1,700㎜(H)
② Machine Weight : About 2,500㎏
③ Main Motor : 220V 3P, 5KW
④ Cooling System : Water Cooling Spindle
⑤ Cover : AL Dust Cover
⑥ Machine RPM : 0 ~ 60 RPM
⑦ Spindle Base Flatness : ±5 ㎛
⑧ Spindle Base Surface Runout : 10 ㎛
⑨ Spindle Base Circular Runout : ±0.05 ㎜
(2) Facing Unit
① Facing Accuracy : ±5 ㎛
② Facing Speed : ±3 ㎜/min in max 250 ㎜/min
③ Facing Stroke : 350 ㎜
(3) Facility Requirement
① Power : 220V, 50/60Hz, 3Phase, 50A
② Dry Air : 4kgf/㎠, Φ6 Urethane
(4) Lap Plate Specification
① Plate Size : OD Φ910 ㎜ × ID Φ210 ㎜
② Lap Plate : ×100 Ceramics Lap Plate
③ Plate r.p.m : Max 60 r.p.m
④ Plate Flatness : ±5 ㎛
(5) Auto Rolling System
① Motor Power : 110V, 60Hz, 40W
(6) Mechanical Specification
① ESC Flatness : -5 ~ 10 ㎛ (12″ESC 기준)
② ESC Inch-up : Ceramic & ESC Size (Φ100 ~ Φ350)
(7) Sludge Emission (Polishing) : 0.1L/8hr
(8) Minimiser Specification
① Power : 115V/220V, 50/60Hz, 1A
② Dry Air : 4kgf/㎠
(9) Autostirrer Specification
① Motor Power : 115V/220V, 50/60Hz, 1A
(10) Ceramic Ring
① Size : OD Φ435 ㎜ × ID Φ385 ㎜ × H 63 ㎜