청륜건설(주)
CCE6.8V-1.0
5년
부대장비(부가장치) (주장비:고정밀 습식코팅 / 표면처리 장비)
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 가스공급장치
2023-12-28
68,800,000원
없음
여러 실험실 및 공정 장비에 동시에 안정적인 압력으로 질소 가스를 공급
코팅 전 기재 표면의 특성을 변화시키기 위해 플라즈마를 이용한 전처리 및 UV 경화도 향상을 위하여, 롤투롤 코터에 가스를 공급하는 부대장비
기관의뢰
고정형
기타
1원
코팅 전 기재 표면의 특성을 변화시키기 위해 플라즈마를 이용한 전처리 및 UV 경화도 향상을 위하여, 롤투롤 코터에 가스를 공급하는 부대장비, 이를 통하여 국내 수요 기업에서 요구하는 다양한 표면처리 및 UV 경화 공정조건의 실험 구현이 가능함.
○ 저장물질 : LN2, LO2, LAr
○ 내용적 : 6800L
○ 저장용량 : 6120L
○ 저장능력 : LN2 4945kg
LO2 6977kg
LAr 8568kg
○ 설계온도 : -196℃ ~ 40℃
○ 단열재 : Perlite
○ 외부 외경 : 1.976m
○ 내부 외경 : 1.574m
○ 높이 : 3.636m
○ 안전벨브 : 1.00MPa, 2EA
○ 기화기 200Nm3