(주)에이아이티
CMT-SR3000S
11년
주장비
분석
전기·전자장비 > 측정시험장비 > 다기능임피던스측정시험장비
2023-03-14
60,010,000원
1234
1. OLED 공정 진행에 따라 성막될 메탈 또는 반도체층에 대한 면저항을 측정하기 위한 장비로 박막의 물성과 증착상태를 검증 및 관리를 하기 위해 사용함
2. 일정 간격을 가지는 4개의 Probe Pin으로 시료에 Contact하여 전압 및 전류를 측정하여 저항을 구하고, 표면저항 단위인 ohm/sp로 변환하기 위해 보정계수(CF)를 사용하여 결과를 도출함
기판 Size (370*470mm)、측정방식 (접촉식 4 Point Probe), 측정범위 (1mΩ /sq ~ 1MΩ/sq 이상), 측정시간 (±6sec/point이하), Pin간격 (~2.0mm), 정확도 (±0.5%), Power (AC 220V±10%), 탁상형
측정 결과를 통해 TFT의 동작특성, 소비전력 등에 대한 관계를 도출하여 최적의 막특성을 가지는 공정조건 관리에 활용가능하며, 품질 문제 발생 시 발생원인 파악 분석을 위한 툴로 활용 가능
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
[Hr] 40,000원
제 품 명 : 4탐침 면저항측정기
영문제품명 : Sheet resistance measurement system (4-Point probe system)
위 제품은 일반적인 멀티테스터기로 측정하는 선저항(ohm)과 달리,
일정한 간격을 가진 4개의 탐침(4-point probe)과 전류원 및 전압계를 이용하여 면저항(ohm/sq)을 측정합니다.
CMT-SR3000 모델은 Glass 또는 Display등의 대형 사각샘플을 자동으로 측정하고 Data Mapping이 가능한 제품입니다.
물품구성 : 본체(4-Point Probe System), PC, Reference sample
물품성능 :
1. 측정범위 : 1 mΩ/sq - 2 MΩ/sq
2. 측정단위 : ohm, ohm/sq, ohm.cm(두께입력)
3. Sample size : Max 370X470mm
4. Tester 일체형으로 Desktop type
5. JANDEL High precision 4-Point Probe Head 채용
6. X,Y,Z-Axis automatic system (Auto scanning)
7. Full remote control 측정 및 분석 기능
8. Sample unloading position
9. Electronic accuracy : ±0.5% (Precision resistor)
10. Software : System operating(Windows Version) Data analysis (두께계산, 2D, 3D map 등)
11. 전원 : 220V, 60Hz