Zygo Corporation
Verifire HD
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 광파발생/측정장비 > 간섭계
2023-11-01
292,367,795원
없음
1. 레이저 간섭계(피조 타입)의 광학적 간섭현상을 이용하여 넓은 면적의 표면 굴곡도, 곡률 반경 등 평탄도 분석 및 측정
2. 첨단기계, 로봇, 미래형 자동차, 반도체, 가전제품, 항공, 우주, 의료 등 산업전반의 연구분야에 적용가능
1. 장비의 구성(Configurations of Goods)
1) 6인치 간섭계 주장비 +수직 마운트 키트 1set
2) 데이터 수집 및 분석 소프트웨어, 1copy
3) Transmission Flat(변환 플랫)
4) Vertical Flat PVC Stage(수직 평판 PVC 스테이지)
5) Vibration isolation table for vertical kit(진동 격리 테이블)
6) DynaPhase dynamic (measurement) acquisition option
2. 규격 및 성능(Specificpation)
1) Interferometer and Vertical mount station specifications (간섭계 및 수직 마운트 스테이션 규격)
- Optical configuration(광학구성) : Fizeau interferometer system
- Laser source(레이저원) : 633nm ±1 stabilized HeNe laser
- Aperture size(조리개크기) : 6 inch (150 mm)
- Camera resolution(카메라 분해능) : 2304 x 2304 pixels 이상
- Vertical mount(Work) station(수직 마운트 스테이션) : Manual driven(수동 구동), Anti-vibration(진동 방지)
- Surface isolation technology units & Software(표면 격리 기술 유닛 및 소프트웨어)
- Measurement technique(측정기법) : Phase-shifting(위상 변환)
- Acquisition mode(분석 및 취득 모드) : Phase shifting measurement(위상 변환 분석)
- Operating system : Desktop computer + Windows 10이상
- RMS repeatability(반복성) : <0.06nm 또는 <0.00005 waves (0.03nm)
- Digital magnification(디지털 배율) : 1-10x 이상
- Acquisition Time(분석 및 취득 시간) : 130-300 ms
2) Acquisition software(분석 및 취득 소프트웨어 정보)
- Reference generation, Subtraction, Data averaging, Masking(데이터 생성, 감산, 평균화, 마스킹)
- 2D and 3D surface maps
- DynaPhase dynamic (measurement) acquisition option
- Including csv and txt format
- Upgrades free during warranty period
- Data expert and import
- Data expert and import with Code V, Zemax
- Sub Aperture
3) Transmission flat and Accessary(변환 플랫 및 악세사리)
- Transmission flat : 6 inch Dynaflect Coated(λ/20) : 1ea
기관의뢰
고정형
건별
[EA] 100,000원
1. 레이저 간섭계(피조 타입)의 광학적 간섭현상을 이용하여 넓은 면적의 표면 굴곡도, 곡률 반경 등 평탄도 분석 및 측정
2. 첨단기계, 로봇, 미래형 자동차, 반도체, 가전제품, 항공, 우주, 의료 등 산업전반의 연구분야에 적용가능
1. 장비의 구성(Configurations of Goods)
1) 6인치 간섭계 주장비 +수직 마운트 키트 1set
2) 데이터 수집 및 분석 소프트웨어, 1copy
3) Transmission Flat(변환 플랫)
4) Vertical Flat PVC Stage(수직 평판 PVC 스테이지)
5) Vibration isolation table for vertical kit(진동 격리 테이블)
6) DynaPhase dynamic (measurement) acquisition option
2. 규격 및 성능(Specificpation)
1) Interferometer and Vertical mount station specifications (간섭계 및 수직 마운트 스테이션 규격)
- Optical configuration(광학구성) : Fizeau interferometer system
- Laser source(레이저원) : 633nm ±1 stabilized HeNe laser
- Aperture size(조리개크기) : 6 inch (150 mm)
- Camera resolution(카메라 분해능) : 2304 x 2304 pixels 이상
- Vertical mount(Work) station(수직 마운트 스테이션) : Manual driven(수동 구동), Anti-vibration(진동 방지)
- Surface isolation technology units & Software(표면 격리 기술 유닛 및 소프트웨어)
- Measurement technique(측정기법) : Phase-shifting(위상 변환)
- Acquisition mode(분석 및 취득 모드) : Phase shifting measurement(위상 변환 분석)
- Operating system : Desktop computer + Windows 10이상
- RMS repeatability(반복성) : <0.06nm 또는 <0.00005 waves (0.03nm)
- Digital magnification(디지털 배율) : 1-10x 이상
- Acquisition Time(분석 및 취득 시간) : 130-300 ms
2) Acquisition software(분석 및 취득 소프트웨어 정보)
- Reference generation, Subtraction, Data averaging, Masking(데이터 생성, 감산, 평균화, 마스킹)
- 2D and 3D surface maps
- DynaPhase dynamic (measurement) acquisition option
- Including csv and txt format
- Upgrades free during warranty period
- Data expert and import
- Data expert and import with Code V, Zemax
- Sub Aperture
3) Transmission flat and Accessary(변환 플랫 및 악세사리)
- Transmission flat : 6 inch Dynaflect Coated(λ/20) : 1ea