웰이앤씨
200L Teflon Pilot System
10년
옵션/액세서리(보조장치) (주장비:250L 특수반응기(HAS-C))
시험
화합물 전처리·분석장비 > 반응/혼합/분쇄장비 > 반응장비
2022-12-14
466,224,390원
기관의뢰 직접사용
고정형
일별
800,000원
공정연구 및 시제품 제작 장비로 부식성 물질(불산) 기반 반도체 소재 및 특수공정(고진공/고온/고점도고압 등) 연구장비
-내부식성이 우수한 Teflon으로 coating(Glass: Light Teflon coated glass) 되어 있음.
-정전기 방지장치로 인해 정전기에 의한 폭발에 대해 안정성가짐.
• Materials
- 내부식성이 우수한 Teflon으로 coating(Glass:Light Teflon coated glass) 되어 있음.
- 불소 기반 반도체 소재(반도체 특수가스, 2차전지전해질 소재, 특수냉매가스 등) 개발에 활용
• Reactor : All Teflon coated(product side)
- Pressure : -1/1.90bar 이상
-Temperature : -10/+130℃ 이상
• Double mechanical seal (Sealmaster)
- Agitatorsealing : Seal face(SIC+SIC/KalrezO-ring)
• Shell & Tube Heat Exchanger
- Material : Teflon coated
- Capacity : 6m2 이상
• Receivervessel : 100L Teflon coated
• Protection class Ex-components : Ex d II C T4 (내압방폭구조, KOSHA인증)
• Bottom valve : Electro Static Discharge(ESD)patent system (Sensor : made by Gold)
• Dedicated equipment
- 150L Teflon coated Gas Scrubber : Tower velocity(1.0m/sec), Circulation ater(50L/min),
- Vacuum pump : Dry screw running(twin screw type, Variable pitch),Nominal displacement capacity (130m3/hr), Ultimate pressure(0.01mbar),Motor(5.5Kw, 2P, 60Hz, 440V, 3phase, Ex d II C T4 (내압방폭구조, KOSHA인증))