(주)큐엠씨
SLO-300
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 식각장비
2023-06-19
862,815,600원
없음
○ 디본딩 대상 : Quartz(SiO2), Si, Sapphire, Glass 등
○ 디본딩 방법 : Diode-pumped solid-state laser(DPSSL) 적용
○ 기판 크기 : 2인치 ~ 6인치
○ Laser wavelength : 257nm
○ Laser Max Power : 2.5W @ 100KHz
○ Target Beam size : 10um ~ 60um
○ Beam Shot Position Accuracy : ≤ ± 2um (Scanner)
○ Stage(X, Y) Repeatability : ±1um
○ UPH : 20장 (4inch wafer 기준)
PLC 소자 기판(실리콘 산화막, 석영)과 이종기판이 임시 본딩되어 있는 계면에 레이저를 조사하여 임시 기판을 분리 적용
기관의뢰 직접사용
고정형
기타
[EA] 1원
○ PLC 소자 기판(실리콘 산화막, 석영)과 이종기판이 임시 본딩되어 있는 계면에 레이저를 조사하여 임시 기판을 분리 적용
- 디본딩 대상 : Quartz(SiO2), Sapphire, Glass 등
- 디본딩 방법 : diode-pumped solid-state laser(DPSSL) 적용
- 기판 크기 : 2인치 ~ 6인치
- Laser wavelength : 257nm
○ Laser System
- 디본딩 대상: quartz(SiO2), Sapphire, Glass등
- 디본딩 방법: diode-pumped solid-state laser(DPSSL)적용
- Laser wavelength: 257nm
- Laser Max Power: 2.5W @ 100Khz
- Laser Power Meter
○ Beam Delivery System
- 기판 Size:: Ø2inch~Ø6inch
- Target Beam Size: 10um~60um
- Beam Shot Position Accuracy: ≤±2um(scanner)
- Scanner(266nm) & F-theta Lens(f=100)
○ 정밀 가공 Stage
- Linear Stage(X,Y Travel: 390mm x 350mm)
- Stage(X,Y) Repeatability: ±1um
- Wafer Chuck(평탄도: 10um in 6inch area)
○Vision System
- Wafer Alignment Inspection Vision(FOV: 0.7mm x 0.5mm)
- Process Vision(FOV: 9.5mm x 7.1mm)
- Optical magnification lens
- LED Illumination & CCD Camera
- PC Set & Vision / Motion / IO Board
LEES Optical System 社
○ Laser System
- 디본딩 대상: quartz(SiO2), Sapphire, Glass등
- 디본딩 방법: diode-pumped solid-state laser(DPSSL)적용
- Laser wavelength: 266nm
- Laser Pulse energy: 20uJ
- long term stability <3%(RMS)
○ Beam Delivery System
- 기판 Size:: Ø2inch~Ø6inch
- Target Beam Size: 10um~60um
- 진동 차단 구조 적용 및 특수 BDS 광학부품 사용
- 정밀 Lens mount 구조
- 12inch wafer Steel ring 사용
○ 정밀 가공 Stage
- X,Y,Theta stage
- Linear scale encoder& stage
- X-Y axis 사양
① Stage 반복 정밀도: ±1um
② 이동영역 ( X,Y axis): 350mm X 300mm
③ 최대 Speed: 500 mm/sec
④ Theta axis Travel: 15°
- Stage chuck
① 평탄도: ±10um (4inch area)
② Porous stone vacuum chuck
○ Vision System
- Wafer align 용 정밀 Vision system
① FOV: 0.7mm X 0.5mm
② Zoom Lens 적용
③ 광학 배율: 10X
④ R,G,B White LED 조명 Controller사용
- On target용 vision system
① FOV: 9.0mm X 7.0mm
② 광학 배율: 1X
③ LED 조명 Controller사용