Hamamatsu Photonics
iPHEMOS-MPX
10년
주장비
분석
전기·전자장비 > 분석장비 > 신호분석기
2023-06-23
1,688,500,000원
없음
메인장비 : 높은 정확도를 가진 스테이지를 구성
시스템 작동을 위한 랙 구성
InGaAs 카메라 구성 1k x 1k LN2
높은 해상도를 위한 InGaAs 카메라용 액화질소 생성기 구성
반도체 불량검출을 위한 레이저 스캔 시스템 구축
반도체 불량검출용 IR-Obirch 기능 구성
반도체 불량검출용 디지털 락인 유닛 구성
불량검출 렌즈 구성 (마크로렌즈 1.35x, 오브젝트 랜즈 NIR 5x, 20x, 50x)
반도체 불량검출시스템은 반도체 내부 Gate 에서 일어나는 미세 leakage, Metal 배선 관련 Short, Bridge 등의 불량을 분석하는데 적합한 불량 분석 장비로서, 계속적으로 미세화와 다층화 되고 있는 반도체 Device 들의 불량 분석 요구에 맞추어 Device 의 Top 면이 아닌 Backside를 통한 불량 분석에 용이하다.
또한, Multi Detector 설치 가능하여 분석시간을 크게 줄이고 보다 정밀한 분석을 수행할 수 있다.
기관의뢰
고정형
시간별
[Hr] 190,000원
반도체 불량검출시스템은 반도체 내부 Gate 에서 일어나는 미세 leakage, Metal 배선 관련 Short, Bridge 등의 불량을 분석하는데 적합한 불량 분석 장비로서, 계속적으로 미세화와 다층화 되고 있는 반도체 Device 들의 불량 분석 요구에 맞추어 Device 의 Top 면이 아닌 Backside를 통한 불량 분석에 용이하다.
또한, Multi Detector 설치 가능하여 분석시간을 크게 줄이고 보다 정밀한 분석을 수행할 수 있다.
메인장비 : 높은 정확도를 가진 스테이지를 구성
시스템 작동을 위한 랙 구성
InGaAs 카메라 구성 1k x 1k LN2
높은 해상도를 위한 InGaAs 카메라용 액화질소 생성기 구성
반도체 불량검출을 위한 레이저 스캔 시스템 구축
반도체 불량검출용 IR-Obirch 기능 구성
반도체 불량검출용 디지털 락인 유닛 구성
불량검출 렌즈 구성 (마크로렌즈 1.35x, 오브젝트 랜즈 NIR 5x, 20x, 50x)