kosaka laboratory .ltd
ET200A
11년
주장비
계측
물리적 측정장비 > 길이/위치측정장비 > 달리 분류되지 않는 길이/위치측정장비
2023-02-14
75,297,150원
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
[Hr] 35,000원
반도체 공정 중 제작된 나노/마이크로 패턴을 포함하는 시료 표면을 마이크로미터 반경의 팁을 이용하여 접촉식 스캔함으로써 시료 표면에 존재하는 단차 및 거칠기를 0.1 Å 이상의 분해능으로 측정하는 고정밀 기기
- 스캔 길이: ≥55 mm
- 스캔 속도: ≥10 um/초 에서 400 um/초
- 데이터 포인트 : ≥120,000
- 수직 범위 / 해상도: ≤0.38 Angstrom
- Stylus 힘: ≤0.03 mg
- 스텐 높이 측정: ≥1200um