Olympus
MX63-IR-8
11년
주장비
계측
광학/전자영상장비 > 현미경 > 달리 분류되지 않는 현미경
공동활용허용
2022-11-29
137,000,000원
고정형
시간별
[Hr] 50,000원
- 일반 현미경 시스템에 적외선 카메라 및 광원으로 이용하여 실리콘 기판을 투과하여 관찰할 수 있으며, 자동화된 스테이지를 이용하여 잉크젯 헤드 같은 대면적 칩을 관찰할 경우 여러 개의 이미지를 결합하며 하나의 이미지로 만들 수 있는 장비임
- 적외선 현미경 시스템은 잉크젯 헤드 제작 시 3단 구조물인 맴프레인, 챔버, 노즐 기판의 Si-Si-Si, Si-Glass-Si 멀티 결합 공정 시에 웨이퍼 간의 결합 상태 및 결함 상태를 확인 및 분석하는 장비로서 본 과제를 수행하는데 있어 필수적인 시스템임
- 선명한 IR관찰을 위한 전용 렌즈 및 카메라
- 모터라이징 스테이지 탑재로 스티칭 가능
- 스티칭한 부분에 대한 블랜더 타일링 기능 탑재
- IR 관찰을 위한 램프하우징 및 램프 셋트
- 시야수 (F.N 22 or more)
- 눈폭 조정 가능 범위: 50 ~ 76 mm
- 시도 보정 가능 범위(Diopter range): ± 5 diop.
- 대물렌즈간에 완전히 같은 중심축을 유지할 수 있는 리벌버
- 대물렌즈 부착 가능 halls: 5 halls
- 반사타입 Motorized Stage (버큠플레이트 포함)
- Stroke XYZ : 200 X 200 X 100mm
- Step Motor 구동방식 (XYZ), 속도조절 가능
- Plate 상판마감 : 알루미늄
- XYZ scale : 0.0001mm 분해능
- Accuracy (XY) : (3+6L/300) ㎛
- XY Max flatness : ±0.1mm
- IR 관찰을 위한 대물렌즈