아이씨티
IHS1500C
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 스퍼터
2022-05-23
813,846,240원
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
[Hr] 50,000원
스퍼터링/PECVD 하이브리드 장치는 이종 박막 물질을 다층화시킬 수 있다는 장점이 있어 다양한 표면 특성을 조절할 수 있음. 즉 1차 코팅층의 경우 모재와 박막층의 밀착력을 극대화시킬 수 있는 Bonding 층으로 활용할 수 있으며 2차 코팅층은 내부식 특성을 향상시킬 수 있는 층으로, 3차 코팅층은 내마모 특성을 향상시킬 수 있는 코팅층으로 설계하고 이를 본 스퍼터/PECVD 하이브리드 장치를 이용하여 용이하게 실현할 수 있음
- Chamber Body : SUS 304 (1500(Dia.) x 1300L)
- Main Valve (내열형) : ISO400
- Sample Loading Unit : 공전/자전 지그 장착형
- Rotation feedthrough & port : 냉각형
- View port & Gauge port : 4.5“ - 2EA, NW25-10EA
- Foreline valve : 6“
- Heating Assembly : Heating Uniformity -500℃±5℃
- 챔버 방열 Sheet : SUS 304
- Heater지지 Plate : 재질 - SUS 304
- Water cooling : SUS 절곡 후 100mm 간격 이하 유지
- Heater : Sheath Heater
- 최종 도달 진공도 : 1.0x10-6torr @ Room
temperature
- Chamber leak rate
· Rotation Part moving 시 : 5 x 10-9
mbar․ℓ/sec 이하
· Without Moving : 1 x 10-9 mbar․ℓ/sec
이하
- Heating 시스템 온도 편차
· Max. temperature : 500 ℃ ± 5 ℃
· Sensing point : 3 point @ Chamber Center