아이씨티
IHS1200A
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 전자빔증착기
2022-04-15
251,900,000원
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
[Hr] 30,000원
Sputter/Arc 이온플레이팅 공정을 융합하여 코팅 공정을 수행할 수 있는 장치로서 높은 이온화율과 이온들의 높은 kinetic에너지에 의해 많은 장점들을 가지고 있는 아크 이온 플레이팅 기술과 스퍼터링 기술을 동시에 구현하는 시스템임. 따라서 두 방법의 장단점을 서로 보완하여 줌으로서 내마모 내식 특성이 요구되는 자동차용 표면 코팅 부품 개발에 효과적으로 사용할 수 있음
- 크기 : 1000mm(Ø)×1000mm(H)
- 최종 도달 진공도 : 1.0x10-6torr @ Room
temperature
- Chamber leak rate
· Rotation Part moving 시 : 5 x 10-9
mbar․ℓ/sec 이하
· Without Moving : 1 x 10-9 mbar․ℓ/sec
이하
- Heating 시스템 온도 편차
· Max. temperature : 400 ℃ ± 5 ℃
· Sensing point : 3 point