코썸사이언스
µ_Fab SYNF2000
11년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 성형/가공장비 > 표면가공기
2023-04-03
599,450,000원
기관의뢰
고정형
시간별
[Hr] 30원
- 본 장비는 나노바이오센서 시작품 등의 제작을 위해서 설계된 도면을 이용하여 금속/비금속등을 레이저를 이용하여 마이크로 패턴을 가공하는 핵심 장비임 (열손상 및 균열 등의 거의 발생하지 않아 초정밀 가공 가능)
1. Stage
1) Size 1300 x 1400 x 1411mm
2) X, Y Axis Position Accuracy : ≤± 2um
3) Z Axis Position Accuracy : ≤± 5um / Full
2. Work Table
1) X Axis : 500mm
2) Y Axis : 600mm
3) Z Axis : 50 mm
3. Vision Align : Area Camera(5M)
1) Pixel Size : 3.45um
2) F.O.V : 8.445 x 7.065mm
4. LASER
1) Wavelength : 1030nm
2) Power : 20W
3) Pulse energy : 100uJ
4) Pulse duration : 300 fs - 20 ps
5. Inspection Optic
1) 대물렌즈 : M plan 1.25x,5x,10x,20x,50x,100x
2) 접안렌즈 : Field number 22mm, 10x
3) Camera : 2.8Mega Pixel / 60fps
4) 제진대 : 1300x700x800mm