스마트코리아
AWS-2400-001 OWS-1500-001
9년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 식각장비
2023-04-03
23,056,000,020원
기관의뢰
고정형
시간별
[Hr] 60,000원
- Silicon 및 Glass 기판 세정 및 식각하는 장비로, 각종 Chemical을 사용하여 선택적으로 식각이나 세정 할수 있는 장비임
- 다양한 형태의 바이오센서용 에칭 공정 평가
1. Acid Wet Station System
1) SPM Bath(H2SO4/H2O2/DI)
2) APM Bath(NH4OH/H2O2/DI)
3) HF Module(HF/DI)
4) Rinse Module
2. Organic Wet Station System
1) Solvent Module
2) Process Temp: ~65℃
3) Temp Uniformity: ±2℃
4) Heating Interlock: N2 Level Sensor
3. Spin Dryer System
1) Rotation Speed: 0(50) ~ 2,700 rpm
2) Rotor: piece (2“) ~ 8“
3) ESD Protector: Antistatic Probe
4) Hot N2 Heater
5) Pad Heater