키엔스
VK-X3000
5년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 공초점현미경
2022-11-23
193,679,200원
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
[Hr] 50,000원
ㅇ 본 시스템은 광학현미경, SEM, 형상측정기, 표면거칠기 측정기의 기능, 특징을 모두 갖춘 확대 관찰, 형상 측정 시스템
ㅇ 레이저 및 백색광원을 이용하여 시료의 표면을 스캔하여 높은 수평 분해능의 화상을 취득함으로써 시료 표면의 관찰과 3D 형상 측정을 구현하는 장비
- 광학계 측정방식 : 3가지 이상의 측정방식
핀 홀 공초점 방식 기능을 갖춘 레이저 공초점(고해상도, 고정밀 측정)
면 스캔을 통한 입체 형상 측정(고속, 대면적 측정)
간섭 무늬를 이용한 미세형상 측정(고정밀, 대면적 측정)
관찰 배율 : 20,000배 이상(고배율 렌즈 기준)
최소 시야 범위 : 3600㎛ 이상 (저배율 렌즈 기준)
프레임 레이트(레이저 측정속도) :
면측정 125Hz 이상, 라인측정 7900Hz 이상
리니어스케일 모듈 :1nm 이하
스캔 정밀도 : 높이 반복정도 : 0.020um 이하
레이저 광량 조정 기능 : X, Y, Z 축 자동기능
투명체 측정기능 탑재
운영체제 : 윈도우 10 이상 최신버전
해석소프트 : 홈페이지 라이센서 제공 및 CD 제공, 복수 측정 데이터를 하나의 파일에 표시할 것.
최대 촬영 해상도 : 2048 x 1536 이상
오토스테이지 100 x 100mm
측정용 레이저 광원(파장) : 600 nm대 레드 레이저 포함
샘플 표면의 색 정보를 취득할 수 있는 백색 LED광원도 함계 사용
측정 렌즈 설치부 : 6개 이상 (150x 이상 필수 포함)
측정 DATA : 이미지 및 로우 데이터, 오피스 화한 또는 CSV 전송기능 가능할 것