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- i-Tube No. 2201-A-0222
- NTIS No
- 설치기관 한국기술교육대학교산학협력단
- 주소 충남 천안시 병천면 가전리 307 한국기술교육대학교내산학협력관
- 담당자 박용현 (T. 041-480-4888 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
Jeol
-
모델 명
JSM-7500F
내용연수11년
-
구분
옵션/액세서리(보조장치) (주장비:전계방출형주사전자현미경(에너지분산형분광분석기 포함))
용도시험
-
표준 분류
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
-
취득일
2022-01-28
취득금액27,000,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료90,000원
장비설명
FE-SEM은 열방사형 전자총이 아닌 전계방사형 전자총을 사용하는 장비입니다. 전계방사형 전자총이란 뾰족한 팁 주변에 강한 전기장을 가하여 전자가 밖으로 투과되어 나올 수 있게 하는 전자총입니다. 이렇게 얻어지는 전자빔은 점원으로 부터 균일한 에너지를 가지고 있고, 높은 밝기와 작은 교차점을 형성할 수 있기 때문에 열방사형 전자총을 사용하는 SEM보다 고해상도의 이미지를 얻을 수 있습니다.
장비 구성 및 성능
전계 방사형 전자총(for FE-SEM) 소스 및 조리개
FE-Gun for JSM-7500F
-FE-Gun (소스)
-Aperture (조리개)
*FE-SEM
- Resolution : 1.0 nm at 15kV, 1.4 nm at 1kV
- Max. sample size : 32 mm diameter, 25 mm height
- Magnification : ×25 ~ ×500,000 , 선명한 관찰 : ~ ×100,000
- EDS 성분분석
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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