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HBLU-M30
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 칩검사기
2022-12-28
429,500,000원
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
[Hr] 50,000원
웨이퍼링에 분리되어있는 상태로 공급되는 VCSEL Chip을 고정밀 카메라로 위치를 확인하고 정해진 위치로 이동 후 전류를 인가하여 전기적, 광학적 특성을 측정하고 측정 결과값에 따라 지정한 곳에 자동으로 분류 및 재배열
1) 웨이퍼링 로딩 유닛
○ 웨이퍼링 트레이 (Tray)
○ X-Y-θ축
○ TOP Camera
2) 이젝트 유닛
○ Z축
3) VCSEL Chip 픽업/반송 유닛
○ Chip 픽업툴 (Pickup Tool)
○ X-Z축
4) VCSEL Probe 유닛
○ Z축
5) VCSEL Chip 측정 유닛
○ X-Y-Z축
○ TOP Camera
○ 측정 스테이지
6) VCSEL Chip 재배열(Unloading 유닛) 유닛
○ 웨이퍼링 트레이 (Tray), Gel/Waffle Pack 트레이(Tray)
○ X-Y-θ축
○ TOP Camera
7) VCSEL Chip 측정용 시스템
○ 광파장 측정부
○ 광파워 측정부
○ 전류 공급부
○ NFP 측정부
8) 시스템 컨트롤(System control) : 시스템 제어용 산업용 PC 및 모니터, 마우스
9) 측정 소프트웨어
○ LIV, NFP, Spectrum 측정조건, 온도조건, 판정조건, 측정결과 데이터 출력 등 전반적인 측정에 필요한 구동프로그램